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    [分享]浸没式光刻投影物镜光学薄膜 [复制链接]

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    离线gangzi0801
    技术专家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-10-16
    关键词： 光刻投影物镜光学薄膜
    摘要：深紫外光刻是目前集成电路制造的主流方法，为实现更小的元件特征尺寸，必须采用浸没式投影物镜以提高光学系统的分辨率，由此向其中的薄膜光学元件提出了众多苛刻的要求。本文的讨论由此展开：介绍了适用于浸没式光刻系统的薄膜材料及膜系设计，以及高NA光学系统所需的大角度保偏膜系；物镜中最关键的元件为浸液元件，对浸液薄膜的液体环境适应性及疏水、防污染等关键问题进行了讨论；激光辐照寿命是衡量浸没式光刻系统性能的重要因素，对镀膜元件的激光辐照性能，尤其是浸液环境下的元件辐照寿命进行了分析。     NblPVxS  
    关键词 ： 浸没式光刻,  光学薄膜,  膜系设计,  环境适应性,  激光辐照寿命  
    附件: 浸没式光刻投影物镜光学薄膜.rar (1908 K) 下载次数:36 ，售价:2光币[记录]
    共1条评分 ，光币+10
    cyqdesign 光币 +10 - 2018-10-16
     
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    离线wzlfpz
    高级工程师
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    只看该作者 1楼 发表于: 2018-11-05
    一直都想学习这个领域的知识
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    离线淡小疼
    助理工程师
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    只看该作者 2楼 发表于: 2018-11-05
    挺好的
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    离线ouyuu
    论坛版主
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    只看该作者 3楼 发表于: 2018-11-06
    浸液这个是台湾人提出来的概念，其实在研发上， #?M[Q:  
    创意无限的中国人比循规蹈矩的日本人要更有办法。
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    离线hunter999
    实习生
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    只看该作者 4楼 发表于: 2019-03-30
    好东东！ sAX4giaLD  
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    离线玄真子
    助理工程师
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    只看该作者 5楼 发表于: 2019-03-31
    xuexile
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    离线大剑宿意琦行
    实习生
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    只看该作者 6楼 发表于: 2020-12-19
    学习下
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    离线大剑宿意琦行
    实习生
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    只看该作者 7楼 发表于: 2020-12-19
    谢谢分享
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    离线jspc
    实习生
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    只看该作者 8楼 发表于: 2021-01-03
    浸没式投影系统原理简单，但是实际量产过程中肯定困难重重。
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    离线chenfadi
    技术员
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    只看该作者 9楼 发表于: 2021-11-08
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