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    [求助]镀膜起白雾 [复制链接]

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    离线白杨礼赞
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-10-09
    我们现在做电阻蒸发遇到了一种情况,电压在2.35V时,做出来的产品有少量白雾,但是水滴角不达标,电压2.4V时,白雾增加,水滴角又能满足要求了,白雾可以通过放置一段时间消除也可以用酒精擦掉,哪位大虾帮忙分析一下是什么原因吗?跟设备结构有关系吗,过工艺的真空8.0e-2
     
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 2018-10-11
    白雾是你防水膜料的问题。 ("(wap~<nD  
    可能1是膜料放置时间太长。 p%iZ6H>G  
    P#3J@aRC  
    防水膜是一层络合物。镀上后络合在一起形成防水膜。 qYoU\y7  
    镀膜膜料里面会混有一些溶剂, pFs/ipZX^*  
    可能2是溶剂纯度的问题。 A;X3z-[[  
    d l Ab`ne  
    离线白杨礼赞
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    只看该作者 2楼 发表于: 2018-10-12
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:白雾是你防水膜料的问题。 [ns==gDD  
    可能1是膜料放置时间太长。
    防水膜是一层络合物。镀上后络合在一起形成防水膜。 o:*$G~. k  
    镀膜膜料里面会混有一些溶剂, f8UJ3vB  
    .......?(2018-10-11 12:23)? ;*+H&  
    uT=5zu  
    除了膜料,还有可能是其他方面的原因吗?比方说真空室有残余水分,做AF时冷泵的阀门是关闭的, 可以通过调节工艺来消除这个现象吗?
    离线ouyuu
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    只看该作者 3楼 发表于: 2018-10-13
    回 白杨礼赞 的帖子
    白杨礼赞:除了膜料,还有可能是其他方面的原因吗?比方说真空室有残余水分,做AF时冷泵的阀门是关闭的, 可以通过调节工艺来消除这个现象吗? (2018-10-12 20:27)  JvP>[vb  
    #W.vX=/*  
    如果是阻蒸的话,你可以试着调整一下电流。 SXE@\Afj  
    或者镀AF之前空抽几分钟,让基板降一下温度再镀。
    离线白杨礼赞
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    只看该作者 4楼 发表于: 2018-10-14
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:如果是阻蒸的话,你可以试着调整一下电流。 =*zde0T?l  
    或者镀AF之前空抽几分钟,让基板降一下温度再镀。?(2018-10-13 23:13)? y7rT[f/J  
    P &@,Z# \  
    我们用的是阻蒸,AF前期有一个60秒的高抽到8.0*e-2,是不是时间要延长?
    离线淡小疼
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    只看该作者 5楼 发表于: 2018-10-14
    可以试着改变电流和真空度这些多做一些实验
    离线ouyuu
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    只看该作者 6楼 发表于: 2018-10-14
    回 白杨礼赞 的帖子
    白杨礼赞:我们用的是阻蒸,AF前期有一个60秒的高抽到8.0*e-2,是不是时间要延长? (2018-10-14 09:16)  x>tm[k  
    4<)*a]\c5M  
    可以抽个三分钟试试,另外阻蒸的电流降一点看看
    离线光迹
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    只看该作者 7楼 发表于: 2018-10-15
    可能是药量过剩了,问一下厂家,你购买这个型号的防水药适合多大的机器
    离线白杨礼赞
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    只看该作者 8楼 发表于: 2018-11-24
    回 光迹 的帖子
    光迹:可能是药量过剩了,问一下厂家,你购买这个型号的防水药适合多大的机器 (2018-10-15 18:24)  4KSq]S.  
    f<nK;  
    药量配比跟炉子大小关系大吗?
    离线冰人
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    只看该作者 9楼 发表于: 2018-12-16
    技术贴,许西了