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    [求助]关于可见光区域400nm-700nm增透膜牢固度 [复制链接]

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    离线1111111111
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-09-19
    现在工艺一：ti3o5+soi2+ti3o5+soi2+ti3o5+soi2 温度：280℃，真空度：2.0E-3帕。牢固度差，超声波打了以后，膜层会脱落 s 4rva G@a  
    >h%>s4W  
    工艺二：MGF2+TIO2+MGF2+TIO2+MGF2+TIO2温度：280℃，真空度：2.0E-3帕，手工擦以后，会起雾
     
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    离线yzhuang
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    只看该作者 1楼 发表于: 2018-09-20
    从你提供的参数看没觉得哪里有问题，你是不是可以第一层用SiO2试试，对曲线影响很小，也许可以改善结合力。 =xkaF)AW&v  
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    离线ouyuu
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    只看该作者 2楼 发表于: 2018-09-21
    第一种工艺，镀膜前离子源用Ar打一下。增加附着力
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    离线knight627
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    只看该作者 3楼 发表于: 2018-09-22
    ,看你工艺参数没任何问题,正常来讲不会说用超声波洗下就脱膜.个人建议1.用表面温度计实测温度2.检测机器是否有异常,如果有扩散泵是否返油  3,测下镀膜实际折射率,是否枪的问题.4.基底表面清洁 重点看1,2
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