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    关于镀金属镍的问题 [复制链接]

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    离线囊中蓄乾坤
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-08-20
    金属镍镀膜用蒸发舟还是电子枪？我用钨舟镀很容易断，不稳定。电子枪用的钼坩埚。镀10-20nm就会报警。不知道用那种方法稳定些。求教！！
     
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 2018-08-20
    镍熔点很高，建议用石墨坩埚。 8(1*,CJQg  
    另外你电子枪是什么牌子？报警什么内容？ ucN' zq  
    如果是速率达不到设定值的报警那就速率放低一点。
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    离线囊中蓄乾坤
    助理工程师
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    只看该作者 2楼 发表于: 2018-08-20
    报冷却水温度过高。
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    离线ouyuu
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    只看该作者 3楼 发表于: 2018-08-21
    啥设备还监控电子枪冷却水温？我只知道POLYCOLD和冷水机会监控水温。
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    离线yzhuang
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    只看该作者 4楼 发表于: 2018-08-27
    需要石墨坩埚，钼不行，我的实践经验，另外，因为这个膜料是金属，熔点又高，所以坩埚发热会比较严重，可能你水冷又不是很好，所以报警了。
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