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关于镀金属镍的问题
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关于镀金属镍的问题
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囊中蓄乾坤
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发表于: 2018-08-20
金属镍镀膜用蒸发舟还是电子枪?我用钨舟镀很容易断,不稳定。电子枪用的钼坩埚。镀10-20nm就会报警。不知道用那种方法稳定些。求教!!
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ouyuu
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1楼
发表于: 2018-08-20
镍熔点很高,建议用石墨坩埚。
RyP MzxV
另外你电子枪是什么牌子?报警什么内容?
4(sHUWT
如果是速率达不到设定值的报警那就速率放低一点。
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囊中蓄乾坤
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2楼
发表于: 2018-08-20
报冷却水温度过高。
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ouyuu
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3楼
发表于: 2018-08-21
啥设备还监控电子枪冷却水温?我只知道POLYCOLD和冷水机会监控水温。
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yzhuang
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4楼
发表于: 2018-08-27
需要石墨坩埚,钼不行,我的实践经验,另外,因为这个膜料是金属,熔点又高,所以坩埚发热会比较严重,可能你水冷又不是很好,所以报警了。
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