镀膜工艺与镀膜
系统配置
z8awND [8IO0lul+ 作者：弗兰克泽蒙（ Frank Zimone， CEO of Denton ）等
RU4X#gP4Vh 译者：美国丹顿设备有限公司北京代表处 冯学丽
1u7D:h># rG6G~ |mS 我们认为：既然镀膜设备是为镀膜生产服务的，那么我们设计制造的镀膜系统就必须适应用户的生产工艺，而不是让用户改变生产工艺来适应我们的镀膜机。------弗兰克泽蒙
} v:YSG QCb%d'_w+ 概要
QwWd"Of QJ4$) Fr( 在过去的15-20年中,
光学薄膜镀制设备出现了令人瞩目的变化。以前，一般的镀膜机都是纯人工操作，最先进的也只是半自动控制, 都必须依*高水平的操作人员来保证镀膜产品的一致性。而现在，高质量的光学镀膜机已经是一个集成了系列智能化模块（子系统）的全自动系统。这些智能模块（子系统）通常在多个微处理器的指令下结成局域网（LAN）, 而局域网又可并入整个工厂的自控系统。用户经验的不断增加使他们对设备性能的要求也越来越苛刻，以至于我们现在不难发现用户在购买镀膜机的同时，还要求厂家提供相关工艺技术。本文探讨的是当今光学镀膜系统中可采用的子系统及部件，以及镀膜工艺在部件选择和真空室配置等方面所起的决定性作用。 尽管其他技术日渐流行, 但鉴于物理蒸镀依然是目前适用性最强、应用最广泛的手段，因此本文中的讨论只涉及物理蒸镀技术。
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