[求助]光驰中和器的一些问题 [复制链接]

想询问有经验的维修人员 ABtv|0K  
1.中和器的镍电击缺口有何用途 ? 8.`5"9Vh  
g ?%]()E  
2.要如何预防镍电击氧化 ? 2F1Bz<  
G\f:H%[5[  
謝謝 w~9Y=|YI7  

通过射频磁场的，没有缺口，无法启辉 `@ Ont+  
镍氧化应该还好解决，但溅射打到陶瓷杯上短路缺口，就影响中和器工作

镍的熔点很低的，最初的射频源中和器阴极大多数采用镍。 Fmrl*tr  
现在随着离子源能量的提高，原厂中和器阴极应该是用的其他耐高温金属。 6x_D0j%^]  
不过镍杯这个名称被沿袭下来了。 'F8:|g  
FVHR  
你是要防止阴极氧化还是防止阴极蒸发？ z"@UNypc,  
防止氧化的话只有提高氩气纯度，增加镀膜后的冷却时间。 ?)c9!hR  
防止阴极蒸发的话，就必须用原厂陶瓷。 xOpCybmc  
副厂陶瓷绝缘性不好，电流损耗大，会造成过热。

ouyuu:镍的熔点很低的，最初的射频源中和器阴极大多数采用镍。 eE-@dU?  
现在随着离子源能量的提高，原厂中和器阴极应该是用的其他耐高温金属。 #!X4\+)  
不过镍杯这个名称被沿袭下来了。
你是要防止阴极氧化还是防止阴极蒸发？ :Vf:_;  
....... (2020-02-26 21:07)  Jk!*j  

H|0GRjC  
学到了

多谢分享~~~赞