[求助]光驰中和器的一些问题 [复制链接]

想询问有经验的维修人员 6tDCaB  
1.中和器的镍电击缺口有何用途 ? $1ZFkw  
b- FJMY  
2.要如何预防镍电击氧化 ? !vQDPLBL  
"KhVS  
謝謝 U*R  

通过射频磁场的，没有缺口，无法启辉 <zdo%~ba  
镍氧化应该还好解决，但溅射打到陶瓷杯上短路缺口，就影响中和器工作

镍的熔点很低的，最初的射频源中和器阴极大多数采用镍。 0s%rd>3  
现在随着离子源能量的提高，原厂中和器阴极应该是用的其他耐高温金属。 A!\-e*+W=  
不过镍杯这个名称被沿袭下来了。 O:
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你是要防止阴极氧化还是防止阴极蒸发？ ^1 P@BRh  
防止氧化的话只有提高氩气纯度，增加镀膜后的冷却时间。 s/=.a2\  
防止阴极蒸发的话，就必须用原厂陶瓷。 61}hB>TT:  
副厂陶瓷绝缘性不好，电流损耗大，会造成过热。

ouyuu:镍的熔点很低的，最初的射频源中和器阴极大多数采用镍。 vX'@we7Q{  
现在随着离子源能量的提高，原厂中和器阴极应该是用的其他耐高温金属。
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不过镍杯这个名称被沿袭下来了。
你是要防止阴极氧化还是防止阴极蒸发？ 6,C,LT2^(  
....... (2020-02-26 21:07)  $2M dxw5  

y.LJ5K$&a  
学到了

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