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    [求助]光驰中和器的一些问题 [复制链接]

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    离线ff13326
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-05-16
    想询问有经验的维修人员 f@roRn8p?  
    1.中和器的镍电击缺口有何用途 ? {bF95Hs-  
    mi~ BdBv  
    2.要如何预防镍电击氧化 ? 0(9]m)e  
    =6#tJgg8  
    謝謝 ;9cBlthh  
     
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    离线lishuyu18
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    只看该作者 1楼 发表于: 2020-02-13
    通过射频磁场的,没有缺口,无法启辉 =2%EIZ0oW  
    镍氧化应该还好解决,但溅射打到陶瓷杯上短路缺口,就影响中和器工作
    离线ouyuu
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    只看该作者 2楼 发表于: 2020-02-26
    镍的熔点很低的,最初的射频源中和器阴极大多数采用镍。 W-Cf#o  
    现在随着离子源能量的提高,原厂中和器阴极应该是用的其他耐高温金属。 k fx<T  
    不过镍杯这个名称被沿袭下来了。 +NRn>1]  
    S3"js4a  
    你是要防止阴极氧化还是防止阴极蒸发? ;S+c<MSl  
    防止氧化的话只有提高氩气纯度,增加镀膜后的冷却时间。 aE^tc'h~  
    防止阴极蒸发的话,就必须用原厂陶瓷。 Y[8w0ve- g  
    副厂陶瓷绝缘性不好,电流损耗大,会造成过热。
    离线gaofei555
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    只看该作者 3楼 发表于: 2024-08-09
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:镍的熔点很低的,最初的射频源中和器阴极大多数采用镍。 ^Gv<Xl  
    现在随着离子源能量的提高,原厂中和器阴极应该是用的其他耐高温金属。 nx=#QLi  
    不过镍杯这个名称被沿袭下来了。
    你是要防止阴极氧化还是防止阴极蒸发? cFUYT$8>  
    ....... (2020-02-26 21:07)  /+RNPQO O  
    U^Z[6u  
    学到了
    离线浮世清欢
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    只看该作者 4楼 发表于: 2024-08-18
    多谢分享~~~赞