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    [求助]设计膜系时怎样选择监控波长? [复制链接]

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    离线gemanging
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-03-29
    如题,设计一个膜系时监控波长是如何选择的?选择的理由是什么?镀膜小白求解
     
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    离线rexchou
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    只看该作者 1楼 发表于: 2018-04-26
    根據膜厚吧 H6gU?9%  
    若設定於轉折點容易發生異常,盡量選在轉折點過後,至少超過5~10%左右
    离线875192871
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    只看该作者 2楼 发表于: 2018-05-02
    可以用晶控片或光控片 (主要看机台类型,有的支持晶控,有的支持光控)来监控膜厚,一般镀膜机都有这个功能吧
    离线morningtech
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    只看该作者 3楼 发表于: 2018-05-06
    设计膜系时,用的波长叫 中心波长或设计波长。  按膜系来,一般选主波长位置,宽带的选中间。 折射率要准确。 S[,8TErz  
    监控时用的波长为 监控波长。 根据光控系统和膜系来。尽量选择光量大,且响应相对平缓波段。 :!fG; )=  
    又分极值控制和非极值控制。 hXn3,3f3oZ  
    非极值控制,选光量停止位置 稍远离 极值点,在30~70%间为宜。 pI;NL [  
    最新型光控,可选极值附近,减少变更波长的次数,也可消除倍频监控时因色散带来的问题。  呵呵,呵呵。 w!SkWS b,~  
    极值控制,选择余地小。分变波长极值控制和一个波长到底。  U47}QDh  
    以上是单波长控制,双波长以及宽带控制没用过。 w,1Ii}d9  
    ir16   
    上海膜林科技有限公司,专业光学真空镀膜膜厚控制方案提供商,呵呵。
    离线morningtech
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    只看该作者 4楼 发表于: 2018-05-06
    对常规宽带膜系,用晶控足矣。 RthT \%R  
    Pw0Ci  
    <3okiV=ox  
    上海膜林科技有限公司,专业光学真空镀膜膜厚控制方案提供商,呵呵。
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    只看该作者 5楼 发表于: 2018-05-07
    设计波长根据你的带宽要求来的,一般是以650nm。而镀膜时的监控波长是根据你设计对应的膜层厚度来管控的,厚的就给长一点,然后根据计算出的光控曲线进行调整,最好有极值点,且光量停止处需离光控极值点远一些。