设计膜系时,用的波长叫 中心波长或设计波长。 按膜系来,一般选主波长位置,宽带的选中间。 折射率要准确。 b<FE
监控时用的波长为 监控波长。 根据光控系统和膜系来。尽量选择光量大,且响应相对平缓波段。 s|%R
又分极值控制和非极值控制。 /LFuf`bXV
非极值控制,选光量停止位置 稍远离 极值点,在30~70%间为宜。 4/
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最新型光控,可选极值附近,减少变更波长的次数,也可消除倍频监控时因色散带来的问题。 呵呵,呵呵。 )N 3^r>(e<
极值控制,选择余地小。分变波长极值控制和一个波长到底。 ]SJ#:7
以上是单波长控制,双波长以及宽带控制没用过。 XFWpHe_ L
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上海膜林科技有限公司,专业光学真空镀膜膜厚控制方案提供商,呵呵。