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    [分享]真空镀膜知识 [复制链接]

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    离线yixiangren
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2006-12-12
    　　所谓真空镀膜就是置待镀材料和被镀基板于真空室内，采用一定方法加热待镀材料，使之蒸发或升华，并飞行溅射到被镀基板表面凝聚成膜的工艺。在真空条件下成膜可减少蒸发材料的原子、分子在飞向基板过程中于分子的碰撞，减少气体中的活性分子和蒸发源材料间的化学反应（如氧化等），以及减少成膜过程中气体分子进入薄膜中成为杂质的量，从而提供膜层的致密度、纯度、沉积速率和与基板的附着力。通常真空蒸镀要求成膜室内压力等于或低于10-2Pa，对于蒸发源与基板距离较远和薄膜质量要求很高的场合，则要求压力更低。
     
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    离线feishiff
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    只看该作者 1楼 发表于: 2006-12-13
    o ,这样，可以在介绍详细点吗？
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    离线seraphic
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    只看该作者 2楼 发表于: 2006-12-16
    可以贴一些专业文章吗？这样太笼统了
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    离线yin2006
    实习生
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    只看该作者 3楼 发表于: 2006-12-16
    搂主有没有详细介绍的书籍呀？
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    离线yixiangren
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    只看该作者 4楼 发表于: 2006-12-16
    有，可惜没有电子版的。
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    离线penguiyun
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    只看该作者 5楼 发表于: 2006-12-29
    该主题已被管理员屏蔽!
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    离线yixiangren
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    只看该作者 6楼 发表于: 2006-12-30
    写的比较详细，谢谢！
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    离线心灵元素
    实习生
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    只看该作者 7楼 发表于: 2007-01-03
    写的比较详细，谢谢！
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    离线aaoe
    助理工程师
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    只看该作者 8楼 发表于: 2007-01-23
    很详细的东西，谢谢了．
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    离线starofage
    实习生
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    只看该作者 9楼 发表于: 2007-01-23
    多谢！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！
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