[下载]晶体感应片（Crystal Sensor） [复制链接]

性能说明： i(Vm!Y82  
Quartz晶体感应片是至今为止制造的电气产品中最敏感的产品。用于薄膜涂层时可以检测到1微微米（1兆分之1）大小的范围。这类似于1原子厚度的涂膜层。同时，晶体对热很敏感，可以对1/100度以下的温度变化作出反应。并且，Quartz晶体感应片在完成阶段中对应力反应敏感，可以探测到原子的移动，这一原子的移动是在典型的光学镀膜作业中，镀膜于晶体上的薄膜发生冷却时发生。你也许会对像光学镜片镀膜一样的大规模作业中用这种敏感的感应片怎样进行作业产生疑问。 #Skj#)I"  
简单地说可以勉强地进行作业。除了GOLD及铝或SILVER一样应力低的物质以外，其他大部分的镀膜工艺立即就能把感应片毁坏。像MgF2那样代表性的防止反射镀膜工艺是用高温（超过300度）和高的应力（晶体上镀膜的薄膜冷却时发生）给感应片双重致命打击。晶体暂时裸露在MgF2时可以看到在RATE或厚度上以阳离子形式进行不规则反应的情况。像Zirconium或chromium一样应力高的金属膜也是一样的。 m &!XA  
注意事项： 'gCZ'edM  
（1）    绝对不能触摸感应片的中间部位：因这一部位是活跃的震动部位。任何油迹或灰尘及擦伤都能引起感应片造成震动能力下降。操作时要使用塑胶夹子夹住感应片边缘。 w{r8kH  
（2）    2清洁感应片托架，防止感应片的前后中央部分接触任何物质。并且，放入感应片时感应片和托架之间如果进入异物或产生任何缺陷都会防碍电极的接触，并且发生涉及到感应片震动形态的应力点 bOb Nc  
（3）    3放入托架内以后尽量用轻微的AIR喷射器（过滤过的没有油水的空气）进行吹气操作，清除作业时不小心粘在感应片上的微小镀膜碎片或灰尘。 ?aFZOc4   
（4）    4感应片的HEAD应该用充分的摄氏20-50度的冷却水保持。 ; [FLT:$  
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不论任何温度能够保持1-2度以内的温度变化就能得到好的结果。并且温度越高，附着力越强，所以感应片尽可能达到50度。这样镀膜层覆盖于晶体的效果才更好。

磁控溅射原理电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离子和电子，电子飞向基片。氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉积在基片上成膜。二次电子在加速飞向基片的过程中受到磁场洛仑磁力的影响，被束缚在靠近靶面的等离子体区域内，该区域内等离子体密度很高，二次电子在磁场的作用下围绕靶面作圆周运动，该电子的运动路径很长，在运动过程中不断的与氩原子发生碰撞电离出大量的氩离子轰击靶材，经过多次碰撞后电子的能量逐渐降低，摆脱磁力线的束缚，远离靶材，最终沉积在基片上。 磁控溅射就是以磁场束缚和延长电子的运动路径，改变电子的运动方向，提高工作气体的电离率和有效利用电子的能量。电子的归宿不仅仅是基片，真空室内壁及靶源阳极也是电子归宿。但一般基片与真空室及阳极在同一电势。磁场与电场的交互作用（ E X B drift）使单个电子轨迹呈三维螺旋状，而不是仅仅在靶面圆周运动。至于靶面圆周型的溅射轮廓，那是靶源磁场磁力线呈圆周形状形状。磁力线分布方向不同会对成膜有很大关系。 在E X B shift机理下工作的不光磁控溅射，多弧镀靶源，离子源，等离子源等都在次原理下工作所不同 _JA:.V^3gm  
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（1） 操作人员要熟悉各种仪表、泵，设备的各部分。阅读并理解各种说明书。 （2） 冷却水水压应保持0.1～0.2 Mpa之间，出水温度≤45℃。 （3） 压缩空气压力在0.4～0.5 Mpa之间。 （4） 每炉开机前，要检查保护气的气瓶容量，以免气体充不足，更换气瓶。 （5） 开机后如有异常情况，应立即排除或停机查找原因。 （6） 经常检查各部分的回水量，工作时应保证各部分有充足的冷却水。 （7） 设备停止使用时，应将炉内气体抽空，长时间不用，要充入保护性气体，并把设备水冷套内的循环水放掉。 （8） 机械泵、罗茨泵应定期换油加油，罗茨泵的油杯中要保持一直有油。换油时一定要把废油放干净。 （9） 扩散泵换油时，内部如有氧化，要把扩散泵内部的氧化层处理干净，然后再换上新油。 （10）充入的保护性气体，纯度不应小于99.99%。 （11）本设备不允许使用易燃易爆和具有腐蚀性气体作为保护气氛。 （12）设备表面及仪表表面要保持清洁，擦拭炉体内壁不允许有带有水份及沾有非真空类用油的抹布擦拭。 （13）气动系统的气动三连件上的油水分离器要经常放水，油雾器内应注入真空扩散泵油。 （14）设备的整机电压要保证在350～420 V范围内。三相要平衡。 （15）规管、电接点压力表、热偶等处要经常涂上扩散泵油，使之与座之间形成一层油膜，防止漏气。以上各部分及法兰连接处不允许长期使用真空封泥密封。 （16）各部分的螺栓定期检查，如发现松动，及时拧紧。 （17）设备工作时，注意观察各仪表的显示情况，及各泵的声音，以便及时发现异常，找出问题。 （18） 设备的使用环境，在相对湿度85%以下，温度在10～40℃。在拆修设备时，各部分不许用重锤敲击。

真空泵油的使用注意事项 Ld~q1*7J  
真空泵油的使用注意事项 (1) 装油的窗口必须清洁干净,严禁在阳光下曝晒和露天存放，要存放在阴暗、干燥 和通风场合严防水份和灰尘的混入。 (2) 取油或装油时,桶盖周围的小雨必须除尽，防止杂物混入油中，引起泵的磨损。 (3) 不同牌号，品种的真空泵油不能混用，新旧油品不能混用。 (4) 严格避免真空油与其它润滑油混合，更不能混入轻质油品，否是将会会影响真 空性能。 (5) 真空泵应尽量避免抽除溶剂，水蒸气和有腐蚀性气体等，必须用时须勤检查、 勤换油。 (6) 换油时应将泵体内使用过的油品排尽，将新油倒入后缓缓转动泵轴，清扫泵腔 排尽残油，重复清洗数次，等洗净后换入新油。 (7) 泵大修时必须用溶剂或清洗剂将泵的各部件清洗干净，并将部件烘干。 (8) 加油用具必须有是专用设备，不应是盛过其它油品或溶剂的容器;抽泵。 (9) 矿物油与酯油或其它合成油互换时，应将泵拆开作彻底清洗。包括各零部件均 须浸渍在酯油内以防污染。 (10) 如吸入化学气体及溶剂，对泵油污染影响真空后，则必须作清洗换油处理。 (11) 换油期限： a． 当泵油真空下跌，满足不了需要时； b． 当泵油颜色变深，呈褐色时，均应当换油

应该加入电子枪和离子枪的维护方法，那就更完善了

楼主真是大好人，学习了！谢谢！

作者写的挺全面的，值得学习，谢谢！