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    [讨论]这个东西是干啥用的? [复制链接]

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    只看该作者 20楼 发表于: 2018-01-06
    回 yzhuang 的帖子
    yzhuang:五楼正解,这东西就是挡材料和吸收二次电子用的 (2017-12-31 13:17)  g$qh(Z_s  
    6 9Cxh  
    二次电子不是有坩埚盘中心的那个圈收集么?
    离线ouyuu
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    只看该作者 21楼 发表于: 2018-01-06
    他说的应该是中间那个凹槽。 &nss[w$%C  
    那是让电子通过而开的,如果不开槽的话, pJI H_H  
    电子打在污垢上,会产生很多粉尘,从而增加产品的麻点。 oT'XcMn  
    b]~M$y60q  
    这些电子可能会有一些二次电子,更多的应该是一次电子。 >; Bhl|r~z  
    电子枪灯丝发射出的电子是各方向都有的,某些的电子经过几次反弹后出来焦距会偏远。
    离线罗毅峰
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    只看该作者 22楼 发表于: 2018-01-09
    防污板 $t]DxMd  
    离线dcfcwdx
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    只看该作者 23楼 发表于: 2018-03-03
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:材料纯度变了,折射率就会变。 <)rol  
    不过我们一般都是高折射率的坩埚放一起,低折射率的放一起。 a.q=  
    所以实际影响不大。 J3K!@m_\  
    另外看你做什么产品了,层数少没多大关系。
    ....... (2017-12-21 10:45)  N!,@}s  
     _G`kj{J  
    说的好,深有体会~
    离线yifeng602
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    只看该作者 24楼 发表于: 2018-03-26
    热处理来现场