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光行天下
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光学薄膜设计,工艺与设备
主题:
zns表面破损/脱膜
回帖:飞奔的牛:调整装料方式可以验证一下,我在其他途径了解到的方法:
1.有的老师傅是压成块状的ZNS放在钼舟里,他们的缺陷就少
2.底层用ZNS旧料,然后在上面铺设新料
3.降低速率,防止蒸发过快
....... (2026-07-20 14:01)
我们之前用过方形的ZNS料,在底部排布的稍微规则一些,但是做出来的产品良率也没有明显提升。你说的压成块的硫化锌,意思是在舟底部一整块吗?那膜料的内外温度岂不是差异挺大
nailiang
回帖于2026-07-30 13:44
下一楼›
:nailiang:我们之前用过方形的ZNS料,在底部排布的稍微规则一些,但是做出来的产品良率也没有明显 ..
(
飞奔的牛
)
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:nailiang:底部脏污导致的脱膜是从基底开始的吧。我们切片分析,发现一部分是基底脱膜,又有一部 ..
(
飞奔的牛
)
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