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光行天下
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光学薄膜设计,工艺与设备
主题:
zns表面破损/脱膜
nailiang
发表于 2026-07-16 13:53
使用阻蒸在GE基底镀一层ZNS的单层膜,镀膜温度170℃。
超声清洗后对ZNS膜层进行检测,发现存在白点和破损(如图),尺寸都是um量级。
对白点进行了成分分析,是ZNS膜料。破损是什么原因造成的?破损的位置是否是大颗粒的ZNS点在超声过程中脱膜导致?如何改善?
脱膜/破损
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回帖(5):
5楼
:nailiang:我们之前用过方形的ZNS料,在底部排布的稍微规则一些,但是做出来的产品良率也没有明显 ..
4楼
:飞奔的牛:调整装料方式可以验证一下,我在其他途径了解到的方法:
1.有的老师傅是压成块状的 ..
3楼
:nailiang:底部脏污导致的脱膜是从基底开始的吧。我们切片分析,发现一部分是基底脱膜,又有一部 ..
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