回帖：nailiang:底部脏污导致的脱膜是从基底开始的吧。我们切片分析，发现一部分是基底脱膜，又有一部份是膜层中间脱落。
另外对白点切片分析，有部分白点是膜层中间存在空鼓，导致突起。
调整zns膜料装舟时的排列紧密度会不会对溅料产生改善
....... (2026-07-17 15:33) 
调整装料方式可以验证一下，我在其他途径了解到的方法：
1.有的老师傅是压成块状的ZNS放在钼舟里，他们的缺陷就少
2.底层用ZNS旧料，然后在上面铺设新料
3.降低速率，防止蒸发过快
前两条没试过，最后一条刚验证，确实可以减少这种节瘤缺陷
你可以先验证一下，或者有其他思路也可以说一下，咱们一起验证