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光学薄膜设计,工艺与设备
主题:
新人镀膜问题求教
回帖:剑雨剑芒:我们设备镀膜时真空度大概在0.3到0.5pa左右。 (2026-04-20 15:17)
真空度太差了,一般镀膜应该-2左右,蒸镀要控制在1.5E-2Pa以下。真空度差的话射频容易打火
ouyuu
回帖于2026-04-21 18:16
下一楼›
:ouyuu:真空度太差了,一般镀膜应该-2左右,蒸镀要控制在1.5E-2Pa以下。真空度差的话射频容易打火 ..
(
剑雨剑芒
)
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:ouyuu:记录一下各材料镀膜时候的真空度,和之前的记录比较一下。看看是不是差异很大。
如果 ..
(
剑雨剑芒
)
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