光行天下

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1楼：对不上有可能是薄层（敏感层）的问题。
薄层的折射率是个大问题，特别是你用离子源的情况下 ..

[ouyuu 2026-04-01 19:18]

2楼：ouyuu:对不上有可能是薄层（敏感层）的问题。
薄层的折射率是个大问题，特别是你用离子源的 ..

[剑雨剑芒 2026-04-01 19:37]

3楼：剑雨剑芒:好的，感谢指导。 (2026-04-01 19:37)
刚刚发现你用的是磁控溅射。
[ouyuu 2026-04-03 19:16]

4楼：ouyuu:刚刚发现你用的是磁控溅射。
Ar不是反应气体，Ar是用来轰击靶材，让靶材的材料溅射出 ..

[剑雨剑芒 2026-04-06 09:26]

5楼：应该说是充气多了，真空度差了，溅射出来材料的量就少了。
这个只能是做真空保养。或者你们 ..

[ouyuu 2026-04-07 23:08]

6楼：记录一下各材料镀膜时候的真空度，和之前的记录比较一下。看看是不是差异很大。
如果以前的 ..

[ouyuu 2026-04-07 23:12]

7楼：ouyuu:记录一下各材料镀膜时候的真空度，和之前的记录比较一下。看看是不是差异很大。
如果 ..

[剑雨剑芒 2026-04-20 15:17]

8楼：剑雨剑芒:我们设备镀膜时真空度大概在0.3到0.5pa左右。 (2026-04-20 15:17)
真空 ..

[ouyuu 2026-04-21 18:16]

9楼：ouyuu:真空度太差了，一般镀膜应该-2左右，蒸镀要控制在1.5E-2Pa以下。真空度差的话射频容易打火 ..

[剑雨剑芒 2026-04-22 15:45]