光行天下

回帖：应该说是充气多了，真空度差了，溅射出来材料的量就少了。
这个只能是做真空保养。或者你们调整一下氧气充气的出气口位置看看。
也许是因为出气口位置不好造成的充气不足（氧不够造成的吸收）。

ouyuu回帖于2026-04-07 23:08

下一楼›：记录一下各材料镀膜时候的真空度，和之前的记录比较一下。看看是不是差异很大。
如果以前的 ..(ouyuu)
‹上一楼：ouyuu:刚刚发现你用的是磁控溅射。
Ar不是反应气体，Ar是用来轰击靶材，让靶材的材料溅射出 ..(剑雨剑芒)