——在激光加工中的应用 zt=0o|k
1引言 nSx]QREL!
激光加工技术已经渗透到科学研究和工业生产的各个领域中,特别是超快激光加工由于其超短脉冲、极高峰值功率、冷加工等特性已大幅提升了加工质量并拓宽了加工领域。当前超快激光加工已成为精密加工中最为重要的部分,被广泛应用到微孔加工、超表面结构制造、微流体、量子点及电子制造等领域。 @|\R}k%(
尽管拥有这些优势,但单焦点的超快激光加工技术存在着加工区域小、效率低的问题,也无法适用于材料的大面积加工、体加工、结构一次成型加工、矢量光加工等应用场景。 DmqSQA
为了提高超快激光微加工过程中的加工效率,采用多光束并行加工的方法以提高超快激光微加工的效率已成为一个重要的研究方向。 g{:<