可用晶振片 6MHz tlo"tl_]
频率范围 5MHz~6MHz, k(>hboR5n
频率分辨率 0.005Hz |2,'QTm=
频率稳定度 1ppm U0}]3a0
膜厚分辨率 0.002A we6']iaV
测量更新率 10Hz u@v0I$
材料数 112 Yrb[:;Y
膜系数 20, 可自动串接 )L?JH?$C
可设定层数 112层/每膜系 D]nVhOg|
可控制蒸发源数 3个, 0~10V, 16bit tWkD@w`Lnn
数字输入 8路兼容LVTTL,功能自定义 [ Fid
数字输出 10路常开继电器,功能自定义 HbWl:y U
探头数 1,支持六探头 SWujj,-[
电源 90V~240V,AC, 20W +(d\`{A
主机尺寸 XDM-3K 438*88*300 (mm,标准工业机柜宽, 2U高度, 深300mm) Hd(|fc{2
控制方法 PID /p|]*={
语言 多国语言(中、英、…) +'qzk>B
通信接口 RS232