可用晶振片 6MHz H65><38X/
频率范围 5MHz~6MHz, D<U^FT
频率分辨率 0.005Hz :7>oFz
频率稳定度 1ppm l!qhK'']V"
膜厚分辨率 0.002A jlXzfDT
测量更新率 10Hz :{BD/6
材料数 112 A#k(0e!O
膜系数 20, 可自动串接 =p{55dR
可设定层数 112层/每膜系 ]ie38tX$
可控制蒸发源数 3个, 0~10V, 16bit wz`\RHL
数字输入 8路兼容LVTTL,功能自定义 :8h\x
数字输出 10路常开继电器,功能自定义 M~+}ss
探头数 1,支持六探头 1K{u>T
电源 90V~240V,AC, 20W {G. W?
主机尺寸 XDM-3K 438*88*300 (mm,标准工业机柜宽, 2U高度, 深300mm) JPO'1D)
控制方法 PID WVZ](D8Gc]
语言 多国语言(中、英、…) ~?#>QN\\c
通信接口 RS232