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概述 y~V(aih}D 该系统由一个聚光镜、一个倾斜球体和一个Schwartzchild设计的中继镜组成。光源被成像到中继镜的光瞳中。光束在物体掩模处会聚,在中继透镜的光瞳处形成点像。在中继透镜的瞳孔处,多条条纹图案将形成一个中心波瓣和侧波瓣。如下图所示: pxi3PY? *T1_;4i 掩模上的条形图案在中继瞳孔中产生旁瓣 \;Weizq5 窄条产生宽的旁瓣,仅部分通过中继入口瞳孔 EU#^7 宽条产生较窄的旁瓣,更容易通过中继入口瞳孔 8@R|Km5h 部分通过旁瓣会产生部分解析 ]:n,RO6 7yQ4*UB 系统描述 P+}h$_x * 4
n) 本例介绍了如何采用全局衍射分析对部分相干进行建模。如上图所示,整体装置是一个科勒照明系统,其中有一个聚光元件能够将非相干光源的光进入转像透镜的孔径中。在一个经典的科勒照明系统中,点光源通过一个聚光镜成像在转像系统的光瞳中。光源照亮物体掩膜面,并在最后的成像面上得到适当的放大。为了对光束合理采样,光源放在物的共轭点处,这样在光源面上,点光源将是有一定维度的,而不是像理想点光源那样,会引起混沌。对一个具有一定尺寸的光源,它所成的像就是部分相干的。如果光源足够大,大到可以填满转像透镜的孔径的话,所成的像将是非相干的。 pgo$61 /bmN\I 模拟结果 :4|4 =mkr \U_@S. 三栅条图样的部分相干成像 y();tsWqc /9X7A;O 两组七栅条图样建模对比 ;.C\Ss<>* ^.y\(= dh\P4
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