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学习使我快乐 2017-12-10 21:07

请教前辈关于修正板

制作修正板的时候得算补正幅,那么是否做出来的修正板只对应一种膜系,还是说所有膜系都可以用
rexchou 2017-12-11 13:48
理論上應該要所有膜系都適合用,但會因為藥材比例還有製程參數上的調整會有所變化 P N(<=v&E  
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我簡單說明 如果你今天的MASK 是適用於 IR多層膜。 \I7&F82e  
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此MASK若用於一般ARC的均勻性就不太需要修整了。 MKh}2B#S  
by$S#e f  
拜託回你問題就幫忙評個分吧~回得很無力(我沒光幣了)
奔跑的小骏马 2017-12-11 14:11
rexchou:理論上應該要所有膜系都適合用,但會因為藥材比例還有製程參數上的調整會有所變化 *KPNWY9!W  
我簡單說明 如果你今天的MASK 是適用於 IR多層膜。 mk +BeK  
此MASK若用於一般ARC的均勻性就不太需要修整了。 b$}@0  
....... (2017-12-11 13:48)  2w:cdAv$  
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哈哈,没光币了
奔跑的小骏马 2017-12-11 14:18
首先你要懂得,修正版的作用是啥。它是修正设备球罩设计的缺陷的,你试想以下,它就是起一个遮挡作用,如果球罩是水平的那你还需要修正不?答案肯定是不需要的,因为球罩上的镜片接收膜料的多少是一致的。这个是第一点,修正板的作用。第二点你要懂影响球罩上镜片接收膜料的多少跟工艺参数有关,即离子源功率、蒸镀材料光斑大小、电流大小。所以要想一副修正板能够用于其他的产品,那么你的膜系参数,包括光斑的、离子源的都需一致。不然你就只能一个膜系对应一套修正板。个人建议做修正板时,修正板对应不同圈的精度一定要高,不然你做不同大小镜片时特性差异也会比较大。还有什么不懂得可以多交流。
囊中蓄乾坤 2017-12-11 18:06
看看,说的对。
学习使我快乐 2017-12-11 22:43
奔跑的小骏马:首先你要懂得,修正版的作用是啥。它是修正设备球罩设计的缺陷的,你试想以下,它就是起一个遮挡作用,如果球罩是水平的那你还需要修正不?答案肯定是不需要的,因为球罩上的镜片接收膜料的多少是一致的。这个是第一点,修正板的作用。第二点你要懂影响球罩上镜片接收膜料的多少跟 .. (2017-12-11 14:18) (Y?" L_pC  
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明白了明白了,就是说如果膜系工艺上的参数基本相同的话,就可以用同一个修正板。同一个膜系镀分别大小不同的镜片,用同一个修正板的话,差异是不是不大啊?因为我上班的地方就是这样做的
学习使我快乐 2017-12-11 22:43
rexchou:理論上應該要所有膜系都適合用,但會因為藥材比例還有製程參數上的調整會有所變化 wIT}>8o  
我簡單說明 如果你今天的MASK 是適用於 IR多層膜。 Y l1sAf/  
此MASK若用於一般ARC的均勻性就不太需要修整了。 )R`w{V  
....... (2017-12-11 13:48) 1Q ^YaHzuW  
YaDr.?  
学习使我快乐 2017-12-11 22:50
rexchou:理論上應該要所有膜系都適合用,但會因為藥材比例還有製程參數上的調整會有所變化 z6K"}C%  
我簡單說明 如果你今天的MASK 是適用於 IR多層膜。 q=5#t~?  
此MASK若用於一般ARC的均勻性就不太需要修整了。 y#3mc#)k  
....... (2017-12-11 13:48)  + (cTzY  
KbY5 qou  
ARC是什么意思啊,mask是修正板的意思吗, i`^`^Ka  
刚刚工作,小白一个,镀膜学了一个月,明天要调到另一个部门学工艺去磨镜片了
奔跑的小骏马 2017-12-12 08:06
学习使我快乐:明白了明白了,就是说如果膜系工艺上的参数基本相同的话,就可以用同一个修正板。同一个膜系镀分别大小不同的镜片,用同一个修正板的话,差异是不是不大啊?因为我上班的地方就是这样做的 (2017-12-11 22:43)  E8WOXoP(  
 M SU|T  
你问的后一个问题,就是不同大小的镜片在其他工艺不变得时候用同一个修正板的问题,说明你还没有完全看懂我的意思。修正板是补正球罩的缺陷用的,如果你的修正板修的十分的精确(每圈的每个点都能一一对应修正)那么只要是你工艺不变、球罩不变,那这个修正板就可以通吃,做啥片子都可以。但你只要变更工艺、变更不同曲率半径的球罩,那你的修正板基本就得重新做了。
奔跑的小骏马 2017-12-12 08:10
学习使我快乐:ARC是什么意思啊,mask是修正板的意思吗, o&1ewE(O]  
刚刚工作,小白一个,镀膜学了一个月,明天要调到另一个部门学工艺去磨镜片了 (2017-12-11 22:50)  n4+l, ~  
bE.,)GY  
ARC应该是增透膜。mask就是修正板
gaofei5588 2017-12-12 16:31
IR是红外截止滤光膜.   1楼所说的IR和AR  应该是从膜层的厚度和层数来说的,,简单点理解是既然相应的MASK在镀层数较多,膜厚较大的IR时,均匀性可以的话,镀只有几层厚AR时,均匀性是没有问题的。 ;sCf2TD,_  
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学习使我快乐 2017-12-13 17:39
奔跑的小骏马:你问的后一个问题,就是不同大小的镜片在其他工艺不变得时候用同一个修正板的问题,说明你还没有完全看懂我的意思。修正板是补正球罩的缺陷用的,如果你的修正板修的十分的精确(每圈的每个点都能一一对应修正)那么只要是你工艺不变、球罩不变,那这个修正板就可以通吃,做啥片 .. (2017-12-12 08:06)  fOCLN$x^  
jIwz G+)$P  
懂了。。。。
奔跑的小骏马 2017-12-13 19:12
学习使我快乐:懂了。。。。 (2017-12-13 17:39)  O4J <u-E$  
^N#B( F  
多交流,共同进步
hpkyy 2019-02-17 17:04
奔跑的小骏马:首先你要懂得,修正版的作用是啥。它是修正设备球罩设计的缺陷的,你试想以下,它就是起一个遮挡作用,如果球罩是水平的那你还需要修正不?答案肯定是不需要的,因为球罩上的镜片接收膜料的多少是一致的。这个是第一点,修正板的作用。第二点你要懂影响球罩上镜片接收膜料的多少跟 .. (2017-12-11 14:18)   %f3qCN  
c"HB7  
工件盘如果是平的,也需要用修正板
cgl155410 2019-02-18 16:19
看看,说的对。
sosjinyan 2019-04-02 12:59
你们谁的工件盘是平的? 我这遇到一个,平的工件盘最外圈,修正不了。 正正准备换球罩了。 G*;?&;*  
shenhan0701 2019-05-19 19:11
只要是影响膜厚分布的因素都对补正板的形状有影响 ws}cMX]*  
一般来说如果同种材料的工艺参数稳定了,只是修改膜厚的话,还是可以直接拿来用的
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