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關於 EB 製程(不使用IAD)
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rexchou
2017-11-20 11:35
關於 EB 製程(不使用IAD)
各位前輩 先進 大家好
C(@#I7 G
關於EB製程(不使用IAD)部分
Md[M}d8
在高溫(280度)不使用IAD的情控下,麻點該如何避免產生
7xU6Ll+p
可以控制的參數很少
+0Z,#b
頂多就 真空、鍍率、氣體 除此之外還有甚麼改善的部分嗎???
ouyuu
2017-11-20 21:53
麻点有很多因素。
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改善抽气和放气(延长缓粗抽和缓放弃的时间),可以减少气流带到镜片的粉尘数量。
9Q/t+
改善预熔药的溶药制程(甚至溶药后再放置镜片),可以减少粉尘源。
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电子枪如果有二次电子(电子枪轰击药物后反射的电子)抑制器,可以减少镜片的静电,减少粉尘沾染。
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另外,腔室的清洁很重要,如果每次都换铝膜,那也能改善很多。
奔跑的小骏马
2017-11-22 16:17
主要还是查看一下膜料吧!另外就是腔体里出现掉膜的部位需要及时清理,还要防止膜料的互相影响。
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關於 EB 製程(不使用IAD)
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