關於 EB 製程(不使用IAD)-光学薄膜设计,工艺与设备-光行天下-最大的光电技术社区-光学,光电,光机技术及其软件运用交流社区!

首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题

光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> 關於 EB 製程(不使用IAD) [点此返回论坛查看本帖完整版本]

[打印本页]

rexchou	2017-11-20 11:35
關於 EB 製程(不使用IAD) 各位前輩先進大家好 Ir5\|H\|b< 關於EB製程(不使用IAD)部分 @6UZC-M0 在高溫(280度)不使用IAD的情控下，麻點該如何避免產生 >iRkhA=Vg 可以控制的參數很少 EU>`$M&w- 頂多就真空、鍍率、氣體除此之外還有甚麼改善的部分嗎???

ouyuu

2017-11-20 21:53

麻点有很多因素。
改善抽气和放气（延长缓粗抽和缓放弃的时间），可以减少气流带到镜片的粉尘数量。
改善预熔药的溶药制程（甚至溶药后再放置镜片），可以减少粉尘源。
电子枪如果有二次电子（电子枪轰击药物后反射的电子）抑制器，可以减少镜片的静电，减少粉尘沾染。
另外，腔室的清洁很重要，如果每次都换铝膜，那也能改善很多。

奔跑的小骏马	2017-11-22 16:17
主要还是查看一下膜料吧！另外就是腔体里出现掉膜的部位需要及时清理，还要防止膜料的互相影响。

查看本帖完整版本: [-- 關於 EB 製程(不使用IAD) --] [-- top --]