| ttb2016 |
2017-10-11 23:11 |
非极化中子超镜用NiC薄膜制作技术研究
NiC/Ti中子超镜是一种高性能的中子多层膜光学元件，NiC纳米薄膜的制作是实现NiC/Ti多层膜的关键技术。基于Ni和C的直流磁控溅射方法，提出了一种NiC联合溅射靶材的实现方法，并制作了NiC单层膜样品。X射线光电子能谱的测量结果表明：用联合溅射靶材制作的NiC薄膜中Ni和C的原子数比与理论预期相吻合；基于X射线光电子能谱测试得到的Ni、C原子数比，通过构建Ni86C14的模型，可以很好地对掠入射X射线反射测试结果进行理论拟合。该研究可为进一步开展NiC/Ti中子超镜的制作提供参考。
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