| ttb2016 |
2017-10-10 18:36 |
大直径平凸透镜面形的阴影检验法
本文分析了使用样板检测大口径平凸透镜的弊端，细述了用刀口仪检测大直径凸面透镜的相关计算方法和操作过程，并用实例加以证明。 &f. |MNz;
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光学检测中刀口仪在对球面光学元件的检测一般局限于对凹反射镜的面形及曲率进行检验，对于凸透镜的面形检验一般利用光学样板进行判定，但光学零件样板的最大直径为130mm，对于直径在140mm以上的平凸透镜进行检验有一定局限性降低了检验精度，如图1所示。其次用样板直接接触元件表面容易对光学元件表面造成破坏，此时如果借助于一些大型的光学检测仪器，例如 zygo 干涉仪，利用此类大型仪器的优势在于检测的结果精密，光学元件的检测结果可以量化，但是由于zygo干涉仪的价格昂贵，体积较为庞大，且对周围的检测环境要求较高，种种因素大幅提高光学检测的成本，在这种情况之下我们提出利用便于携带、价格低廉的刀口仪对凸透镜反射面面形与元件内部材料均匀性进行的检测。本文基于以上几点对用刀仪对凸透镜的内反射检验进行了详细阐述。 L3Y ,z3/
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