新镀膜机如何调试

一台新的镀膜机，在不知道折射率，没有补正板，不知道均匀性等的情况下，应该如何进行调试啊？步骤我知道，但是就是不知道具体该如何做，比如先做材料折射率，拿五氧化三钛为例，在没有具体的折射率情况下，用多大的折射率去做单层，单层的厚度设计多少，做出来后怎样进行修正计算实际的折射率，具体的教程谁有啊？另外知道折射率了，在做均匀性时，修正板要如何修剪？
求指点。

ouyuu	2017-09-12 11:44
[attachment=79133][attachment=79133] pdw;SIoC 先看一下附件，新柯隆的补正板做成资料。 h,*-V 'X.k 写的比较详细了。

ouyuu

2017-09-12 12:43

另外，要做单层时，先确认一下你的分光仪测量范围和手头的光学软件是否可以用，里面有多少材料库，不够的话去查一下自己做材料。（推荐麦克劳德，当然TFC也可以）
一般单层厚度在测量范围内3～5个PEAK（用光学软件模拟一下就可以知道）。
SiO2一般折射率变化不会太大，所以直接用光学软件的折射率也可以。
（还有就是有些分光仪分辨率不高，做出来的SiO2曲线毛刺很多，反倒不如软件里的折射率准确）
做的话多用几个坩埚，一个坩埚做很厚的膜层不好（打坑深了分布变了修正板就不准了）

fly6947

2017-09-13 11:28

1.设定初参数：温度、真空、充氧、离子源、速率，这个可以参考或询问；

2.镀单层膜基板选择圆平片，一班镀3-5个极值；

3.修均匀性和计算折射率同步进行；高低材料均匀性交替修

4.修好均匀性后根据折射率计算tooling；

5.验证膜层的光学及非光学性能；有异常者重新修改参数并重复2-4过程

奔跑的小骏马

2017-09-14 16:59

fly6947:1.设定初参数：温度、真空、充氧、离子源、速率，这个可以参考或询问； ~[Z,:=z
2.镀单层膜基板选择圆平片，一班镀3-5个极值； $2>"2*,04
3.修均匀性和计算折射率同步进行；高低材料均匀性交替修 XR+
....... (2017-09-13 11:28) !-~sxa280r

谢谢。不过说的流程我大概知道，就是不会具体的操作，比如我设计了单层，也镀了；出来特性也测了，如何计算折射率？

ouyuu	2017-09-14 22:19
折射率和吸收两个要一起用软件算的。 zI$'D\|A 你先说说手头有什么软件？ K)#6&\0tT 每种软件的使用方法不一样。 eZ\|_wB'r 如果你只要结果的话，直接把特性CSV文件压缩发上来，有空帮你算。 i'3)5 ;$g?W" &W{<Yf9

fly6947	2017-09-15 08:00
楼上大神说得对，

奔跑的小骏马	2017-09-16 17:14
ouyuu:折射率和吸收两个要一起用软件算的。 \xKhbpO~ 你先说说手头有什么软件？ BeFXC5-qat 每种软件的使用方法不一样。 FKy2C:R(] 如果你只要结果的话，直接把特性CSV文件压缩发上来，有空帮你算。 `S\|T&\|ad0 ....... (2017-09-14 22:19) T/?C_i p7Z/%~0v: 麦克劳德、TFC都有

ouyuu

2017-09-16 20:52

[attachment=79253]
我居然以前还翻译过这个资料……

一般我的资料都是免费提供。
但是这次付出的时间比较多，所以出售5个币。
其实你网上找一下应该是有资料的，麦克劳德的资料百度上还挺多的。

你也可以问版主CYQDESIGN买一本麦克劳德的中文说明书，大概400元吧。
这样做事方便很多，公司出钱应该没有问题吧。

futurebright	2017-09-21 11:16
很好的学习资料 yc0_7Im?

囊中蓄乾坤	2017-10-23 01:20
TFC就能搞定，MAC算了几次，只有一次算对了，好像方法没有用对。

囊中蓄乾坤	2017-10-23 01:22
ouyuu:[图片] >~})O&t 我居然以前还翻译过这个资料…… 0lS=-am 一般我的资料都是免费提供。 )pG*_q 但是这次付出的时间比较多，所以出售5个币。 5RR4jX] ....... (2017-09-16 20:52) "X\6tl7a\| a&<_M$J& 谢谢分享，这样我应该就不会算错了。

sima	2017-12-08 11:25
真心好贴

奔跑的小骏马	2017-12-12 08:12
sima:真心好贴 (2017-12-08 11:25) \ `\| G x{G}9 多交流，要多进一些问题我们共同探讨这样才能进步

yzhuang	2017-12-31 13:38
8楼是个高人，佩服！

17873333033	2020-04-02 11:53
感谢分享资料，谢谢大佬 `Af5%m[

18319405642	2021-05-02 09:05
正在学习光学镀膜

caorenlau	2021-05-24 09:38
谢谢分享！

holdlove1314	2021-05-31 10:46
很好的学习资料

tony肖	2021-06-29 14:14
很好的知了，，

李胡八一	2022-01-20 00:51
膜拜大佬学习学习

xiezhizhi	2022-04-01 19:45
感谢分享，

cr6808739	2022-05-11 14:09
很好的学习资料

eamery	2024-11-08 20:34
感谢感谢

脩涂	2024-11-11 20:50
很感谢分享，感谢感谢

yp99	2025-01-05 19:14
感谢，很有用的帖子！！

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