基于白光干涉法测量微光栅形貌及相关几何参量的研究

基于白光干涉法测量微光栅形貌及相关几何参量的研究

基于显微白光干涉术，利用扫描干涉显微镜对四台阶面阵微光栅记录了128幅白光干涉图，并分别运用重心法、空间频域算法、移相算法及包络曲线拟合法对扫描干涉图进行了分析处理。被测微光栅的形貌及周期在各算法下均完全吻合，台阶总高最大相差0.8%。同时，用美国Veeco白光轮廓仪对同一样品的形貌及光栅周期进行了测试，数据显示两者结果非常吻合，仅台阶总高相差0.7%。研究结果表明，所采用的四种算法均适用于微观三维形貌的测量。

bairuizheng	2017-06-09 02:12
看看，谢谢

measure123	2017-06-09 15:02
看看，谢谢 Y-y yg4JH

shuotian99	2017-08-24 09:23
学习一下 ^Y+C!I

cameragirl	2017-11-09 20:18
谢谢分享啦啦啦啦啦

jinzhide	2017-12-20 15:38
看看，谢谢

叫我留白	2020-03-31 12:40
大佬，看一看，谢谢！

ajian00athrun	2020-06-12 11:13
貌似有价值可以参考

jabil	2023-09-24 08:20
LET ME SEE IT

风过无痕741	2023-11-17 16:05
看一下，谢谢。

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