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05俊 2017-06-04 15:42

玻璃镀膜后膜内起白雾,跪求大神们讨论产生原因

求大神指教,膜内白雾,萌萌哒
05俊 2017-06-04 15:42
我已试尽各种办法
谭健 2017-06-04 23:05
这种是镀膜工艺及磨料受潮问题所导致
05俊 2017-06-05 07:51
谭健:这种是镀膜工艺及磨料受潮问题所导致 (2017-06-04 23:05)  TniKH( w/  
SuuS!U+i>  
能详细点吗?膜料受潮不应该,我考虑过了。请问如果烘烤温度不均匀有没有可能产生这样的情况
756340418 2017-06-05 14:52
镀膜温度过高,氧化钛高温下结晶发雾!
05俊 2017-06-05 15:53
756340418:镀膜温度过高,氧化钛高温下结晶发雾! (2017-06-05 14:52)  @9a=D<'>  
e:<> Yq+  
我用的是氟化镁和h4
756340418 2017-06-06 10:03
多少层膜 i/z7a%$   
756340418 2017-06-06 10:04
136456869166可以电话咨询我 t1S~~FLE  
05俊 2017-06-06 10:44
10位数电话怎么打
r58001105 2017-06-07 16:02
基本上如果是膜內白霧,有可能是在清洗的後段的溫差導致
yzhuang 2017-06-27 11:28
H4与MgF2做的话很可能是镀前清洁的原因导致白雾,注意空气湿度不能太高
奔跑的小骏马 2017-07-22 10:20
原因可能有两个: ^da-R;o]  
1、前道工序残留下来的镜片表面残留物;主要是抛光的残留的影响较大; T*m_rDDt  
2、镀膜工艺问题,考虑充氧的多少、镀膜过程充氧的控制、镀膜过程是否异常放气。查看镀膜记录应该可以查到。
淡小疼 2017-07-24 17:14
感觉很有可能是h4时的充氧问题…
law2017 2017-07-25 17:40
学习经验
飘雨2008ydw 2017-07-27 09:28
认同是清洗后导致,或者装片如机的时候导致。
lzh123 2017-08-02 09:36
1.  基板自身问题, xmDwoLU  
2. 镀膜工艺问题
jyzgxf 2017-08-09 15:49
膜内白雾跟膜外白雾是怎么区分的,求指点
ouyuu 2017-08-21 17:22
没人觉得是散射吗? 4p.O<f;A8  
问题还在结晶上,试着调整一下镀膜温度和速率,还有充氧。 yyc&'J  
其实有离子源会更好些。
gaofei5588 2017-12-07 10:27
1,基片有水汽或环境比较潮湿 (!s[~O6  
2,基片有氧化层,抛光试下 bu- RU(%  
3,工艺O2的摄入量
pyykun 2018-02-27 11:38
谢谢指教!
奔跑的小骏马 2018-08-25 14:02
①DOME温度过高,可以尝试降低温度。 #~b9H05D  
②预清洁功率过大或时间过长,造成基板表面粗糙度增大引起发雾。 X9R-GT  
③H4和MGF2镀增透膜的话,可以温度设定在300℃左右。
dcfcwdx 2018-08-30 13:27
ouyuu:没人觉得是散射吗? \vI_%su1N  
问题还在结晶上,试着调整一下镀膜温度和速率,还有充氧。 ]n+:lsiV  
其实有离子源会更好些。 (2017-08-21 17:22)  q9OIw1xQr*  
|^ qW   
温度、速率还有充氧具体要像哪个方向调节呢,比如说冲多点氧还是少点
ouyuu 2018-09-05 21:48
dcfcwdx:温度、速率还有充氧具体要像哪个方向调节呢,比如说冲多点氧还是少点 (2018-08-30 13:27)  f`?|A  
`aCcTs7~]p  
这个只有自己慢慢试。改变条件可以改变结晶大小,但是哪个更好要自己试的。
dede 2019-10-14 16:20
问题弄好了吗?
opticsrain 2019-10-25 20:32
起雾有时候不一定是膜的问题。玻璃基片洗不净的情况下也有可能导致起雾,玻璃认真清洁或者用手擦拭后镀膜试一下。
jakzhou 2019-11-17 18:32
镀膜温度过高,氧化钛高温下结晶发雾!
旋律 2020-11-17 17:02
发蒙或者发雾可以从工艺和膜料入手排查原因,如果只镀氟化镁和H4的话,问题应该在H4上面
tony肖 2021-06-29 17:31
会不会温度过高
tang714 2021-08-17 22:54
还有你的基底材料是什么?加了离子源没有?
comebackz 2022-11-02 13:50
膜外⽩雾 \;Ii(3+v;  
现象:镀膜完成后,表⾯有⼀些淡淡的⽩雾,⽤丙酮或混合液擦拭,会有越擦越严重的现象。 k&9 b&-=fk  
⽤氧化铈粉擦拭,可以擦掉或减轻,(⼜称:可擦拭压克) =s;7T!7!  
分析:膜外⽩雾的成因较为复杂,可能的成因有: `TAhW  
① 膜结构问题:外层膜的柱状结构松散,外层膜太粗糙; +|^rz#X  
② 蒸发⾓过⼤,膜结构粗糙。 3x eW!~  
③ 温差:镜⽚出罩时内外温差过⼤ 3Y>!e#  
④ 潮⽓;镜⽚出罩后摆放环境的潮⽓ La9dFe-uu{  
⑤ 真空室内POLYCOLD解冻时⽔汽过重 2 &R-z G  
⑥ 蒸镀中充氧不完全,膜结构不均匀 XWK A0  
⑦ 膜与膜之间的应⼒ {AJs pLcG  
改善思路:膜外⽩雾成因很多,但各有些特征,尽量对症下药。主要思路,⼀是把膜做的致密 %h3CQk  
光滑些不容易吸附,⼆是改善环境减少吸附的对象。 hMi`n6m  
改善对策: d6wsT\S  
㈠ 改善膜系,外层加⼆氧化硅,使膜表⾯光滑,不易吸附。改善镜⽚出罩时的环境(⼲燥、清 K4y4!zz  
洁) T'FRnC^~  
㈡ 降低出罩时的镜⽚温度(延长在真空室的冷却时间)减少温差、降低应⼒。 FLi)EgZXt  
㈢ 改善充氧(加⼤),改善膜结构。  E{h   
㈣ 适当降低蒸发速率,改善柱状结构 %|4Nmf$:Og  
㈤ 离⼦辅助镀膜,改善膜结构 !5pnl0DK*  
㈥ 加上polycold解冻时的⼩充⽓阀(其功能是及时带⾛⽔汽) eqYa`h@g^  
㈦ 从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发⾓。 X5=Dc+  
㈧ 改善基⽚表⾯粗糙度。 -fYgTst2  
㈨ 注意polycold解冻时的真空度。 YMC*<wXN  
膜内⽩雾 7n {uxE#U)  
⽩雾形成在膜内,⽆法⽤擦拭⽅法祛除。 7)z^*;x  
可能的成因: EZao\,t  
① 基⽚脏,附着前⼯程的残留物 s-Bpd#G>/  
② 镜⽚表⾯腐蚀污染 LY/K ,6^a  
③ 膜料与膜料之间、膜料与基⽚之间的匹配。 vTN$SgzfCU  
④ 氧化物充氧不够。 K`D>G<  
⑤ 基⽚进罩前(洗净后)受潮⽓污染 ,{7Z OzA  
⑥ 洗净或擦拭不良,洗净痕迹、擦拭痕迹 Ee d2`~  
⑦ 真空室脏、⽔⽓过重 +wr2TT~  
⑧ 环境湿度⼤ f8!*4Bw  
改善思路:基⽚本⾝的问题可能是主要的,镀膜是尽量弥补,镀膜本⾝最⼤的可能是膜料匹配 /{^Qup  
问题。 p8frSrcU  
改善对策: g7rn|<6FI  
㈠改进膜系,第⼀层不⽤氧化锆类会产生白晕的膜料。 *?+E?AGe  
㈡尽量减少真空室开门时间,罩与罩之间在最短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备⼯作。 {+!m]-s  
㈢真空室在更换护板、清洁后,最好能空罩抽真空烘烤⼀下,更换的护板等真空室部件必须⼲ w>J|416  
燥、⼲净。 H9F\<5n]-l  
㈣改善环境 RdRF~~R%  
㈤妥善保护进罩前在伞⽚上的镜⽚,免受污染。 FTsvPLIv"  
㈥改善洗净、擦拭效果。 *v_+a:  
㈦改善膜匹配(考虑第⼀层⽤Al2O3) L W 8LD|@  
㈧改善膜充氧和蒸发速率(降低) p~6/  
㈨加快前⼯程的流程。前⼯程对已加⼯光⾯的保护加强。 iG^o@*}a  
㈩抛光加⼯完成的光⾯,必须⽴即清洁⼲净,不能有抛光粉或其他杂质附着⼲结。
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