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05俊	2017-06-04 15:42
玻璃镀膜后膜内起白雾，跪求大神们讨论产生原因求大神指教，膜内白雾，萌萌哒

05俊	2017-06-04 15:42
我已试尽各种办法

谭健	2017-06-04 23:05
这种是镀膜工艺及磨料受潮问题所导致

05俊	2017-06-05 07:51
谭健:这种是镀膜工艺及磨料受潮问题所导致 (2017-06-04 23:05) '!"rE1e A D%9;KQ8 能详细点吗？膜料受潮不应该，我考虑过了。请问如果烘烤温度不均匀有没有可能产生这样的情况

756340418	2017-06-05 14:52
镀膜温度过高，氧化钛高温下结晶发雾！

05俊	2017-06-05 15:53
756340418:镀膜温度过高，氧化钛高温下结晶发雾！ (2017-06-05 14:52) pQoZDD@B$ E <N% 我用的是氟化镁和h4

756340418	2017-06-06 10:03
多少层膜 /jSb^1\

756340418	2017-06-06 10:04
136456869166可以电话咨询我 #V.u[:mO

05俊	2017-06-06 10:44
10位数电话怎么打

r58001105	2017-06-07 16:02
基本上如果是膜內白霧,有可能是在清洗的後段的溫差導致

yzhuang	2017-06-27 11:28
H4与MgF2做的话很可能是镀前清洁的原因导致白雾，注意空气湿度不能太高

奔跑的小骏马	2017-07-22 10:20
原因可能有两个： p.5 *`, ) 1、前道工序残留下来的镜片表面残留物；主要是抛光的残留的影响较大； :BF WX 2、镀膜工艺问题，考虑充氧的多少、镀膜过程充氧的控制、镀膜过程是否异常放气。查看镀膜记录应该可以查到。

淡小疼	2017-07-24 17:14
感觉很有可能是h4时的充氧问题…

law2017	2017-07-25 17:40
学习经验

飘雨2008ydw	2017-07-27 09:28
认同是清洗后导致，或者装片如机的时候导致。

lzh123	2017-08-02 09:36
1. 基板自身问题， MfraTUxIo/ 2. 镀膜工艺问题

jyzgxf	2017-08-09 15:49
膜内白雾跟膜外白雾是怎么区分的，求指点

ouyuu	2017-08-21 17:22
没人觉得是散射吗？ OqX+R4S 问题还在结晶上，试着调整一下镀膜温度和速率，还有充氧。 tPDB'S:&3 其实有离子源会更好些。

gaofei5588	2017-12-07 10:27
1，基片有水汽或环境比较潮湿 +!t *LSF 2，基片有氧化层，抛光试下 OkphbAX 3，工艺O2的摄入量

pyykun	2018-02-27 11:38
谢谢指教！

奔跑的小骏马	2018-08-25 14:02
①DOME温度过高，可以尝试降低温度。 fN 1:'d ②预清洁功率过大或时间过长，造成基板表面粗糙度增大引起发雾。 qJ$S3B ③H4和MGF2镀增透膜的话，可以温度设定在300℃左右。

dcfcwdx	2018-08-30 13:27
ouyuu:没人觉得是散射吗？ t;[Q&Jl 问题还在结晶上，试着调整一下镀膜温度和速率，还有充氧。 \)PS&Y8n 其实有离子源会更好些。 (2017-08-21 17:22) U7G\|4( b;I!CyD 温度、速率还有充氧具体要像哪个方向调节呢，比如说冲多点氧还是少点

ouyuu	2018-09-05 21:48
dcfcwdx:温度、速率还有充氧具体要像哪个方向调节呢，比如说冲多点氧还是少点 (2018-08-30 13:27) @i:_JOl sfNAGez 这个只有自己慢慢试。改变条件可以改变结晶大小，但是哪个更好要自己试的。

dede	2019-10-14 16:20
问题弄好了吗？

opticsrain	2019-10-25 20:32
起雾有时候不一定是膜的问题。玻璃基片洗不净的情况下也有可能导致起雾，玻璃认真清洁或者用手擦拭后镀膜试一下。

jakzhou	2019-11-17 18:32
镀膜温度过高，氧化钛高温下结晶发雾！

旋律	2020-11-17 17:02
发蒙或者发雾可以从工艺和膜料入手排查原因，如果只镀氟化镁和H4的话，问题应该在H4上面

tony肖	2021-06-29 17:31
会不会温度过高

tang714	2021-08-17 22:54
还有你的基底材料是什么？加了离子源没有？

comebackz

2022-11-02 13:50

膜外⽩雾
现象：镀膜完成后，表⾯有⼀些淡淡的⽩雾，⽤丙酮或混合液擦拭，会有越擦越严重的现象。
⽤氧化铈粉擦拭，可以擦掉或减轻，（⼜称：可擦拭压克）
分析：膜外⽩雾的成因较为复杂，可能的成因有：
① 膜结构问题：外层膜的柱状结构松散，外层膜太粗糙；
② 蒸发⾓过⼤，膜结构粗糙。
③ 温差：镜⽚出罩时内外温差过⼤
④ 潮⽓；镜⽚出罩后摆放环境的潮⽓
⑤ 真空室内POLYCOLD解冻时⽔汽过重
⑥ 蒸镀中充氧不完全，膜结构不均匀
⑦ 膜与膜之间的应⼒
改善思路：膜外⽩雾成因很多，但各有些特征，尽量对症下药。主要思路，⼀是把膜做的致密
光滑些不容易吸附，⼆是改善环境减少吸附的对象。
改善对策：
㈠改善膜系，外层加⼆氧化硅，使膜表⾯光滑，不易吸附。改善镜⽚出罩时的环境（⼲燥、清
洁）
㈡降低出罩时的镜⽚温度（延长在真空室的冷却时间）减少温差、降低应⼒。
㈢改善充氧（加⼤），改善膜结构。
㈣适当降低蒸发速率，改善柱状结构
㈤离⼦辅助镀膜，改善膜结构
㈥加上polycold解冻时的⼩充⽓阀（其功能是及时带⾛⽔汽）
㈦从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发⾓。
㈧改善基⽚表⾯粗糙度。
㈨注意polycold解冻时的真空度。
膜内⽩雾
⽩雾形成在膜内，⽆法⽤擦拭⽅法祛除。
可能的成因：
① 基⽚脏，附着前⼯程的残留物
② 镜⽚表⾯腐蚀污染
③ 膜料与膜料之间、膜料与基⽚之间的匹配。
④ 氧化物充氧不够。
⑤ 基⽚进罩前（洗净后）受潮⽓污染
⑥ 洗净或擦拭不良，洗净痕迹、擦拭痕迹
⑦ 真空室脏、⽔⽓过重
⑧ 环境湿度⼤
改善思路：基⽚本⾝的问题可能是主要的，镀膜是尽量弥补，镀膜本⾝最⼤的可能是膜料匹配
问题。
改善对策：
㈠改进膜系，第⼀层不⽤氧化锆类会产生白晕的膜料。
㈡尽量减少真空室开门时间，罩与罩之间在最短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备⼯作。
㈢真空室在更换护板、清洁后，最好能空罩抽真空烘烤⼀下，更换的护板等真空室部件必须⼲
燥、⼲净。
㈣改善环境
㈤妥善保护进罩前在伞⽚上的镜⽚，免受污染。
㈥改善洗净、擦拭效果。
㈦改善膜匹配（考虑第⼀层⽤Al2O3）
㈧改善膜充氧和蒸发速率（降低）
㈨加快前⼯程的流程。前⼯程对已加⼯光⾯的保护加强。
㈩抛光加⼯完成的光⾯，必须⽴即清洁⼲净，不能有抛光粉或其他杂质附着⼲结。

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