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zlygsl 2017-05-08 18:56

滤光膜测试

大家好,最近在镀时用TFCalc模拟的结果如下,Stack: (HL)^10 L (HL)^10,H: Si3N4,L: SiO2,其中高、低折射率材料是用的实际镀膜后实际测试的折射率参数,应该比较真实吧。 C(f$!~M4b  
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但测试结果如下,除了透射峰的位置不准确外,透射峰基本上没有了,为什么结果很差。我一直认为是吸收太大所致,但模拟时采用的是真实测量的n、k值,多层膜吸收已经考虑之后进行的模拟,请大家帮忙分析一下,非常感谢! $[)6H7!U)  
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zlygsl 2017-05-11 18:43
希望有相关经验的朋友不吝赐教,非常感谢!
黄康牛 2017-05-12 18:26
都是大神
iuggtg 2018-02-10 18:02
公差太大。SIO2整体对比于Si3N4随便多走1%或者少走1%。透射峰都会被冲掉。至于透射峰位置不准确就是整体膜系都走多了(整体都能误差到这个地位,何况精度要求几纳米的波峰 )。而且出射介质个人用的是就是基底。楼主用的是空气。可能教程看的不一样。 aQ.Iq  
对比于模拟与实际,楼主选用的NK是没问题的。 hB|H9+  
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