中科院半导体所研制出GaN基紫外激光器

近日，中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室研究员赵德刚团队研制出GaN基紫外激光器。GaN被称为第三代半导体，在光电子学和微电子学领域有广泛的应用，其中GaN基紫外激光器在紫外固化、紫外杀菌等领域有重要的应用价值，也是国际上的研究热点。GaN基紫外激光器技术难度很大，目前国际上仅有日本的日亚公司等极少数单位有产品或研究报道。紫外激光器的研制成功也是我国在GaN基蓝光和绿光激光器突破之后取得的又一重要进展。

赵德刚带领的团队长期致力于GaN基光电子材料和器件研究，对材料生长机理、材料物理和器件物理有自己的理解和认识，发现和解决了一系列激光器的关键问题：掌握了InGaN量子阱局域态调控和缺陷抑制方法，提高了发光效率；阐明了碳杂质的补偿机制，获得了高质量的p-GaN材料；设计出优化的器件结构，减小了吸收损耗和电子泄漏；利用变程跳跃的物理机制，实现了良好的p-GaN欧姆接触；解决了同质外延中衬底翘曲的难题，采用MOCVD生长出高质量的器件结构。在此基础上，与中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所进行工艺合作，最终实现了GaN紫外激光器的室温电注入激射。条宽为10 μm、腔长为600 μm的激光器阈值电流密度为1.6-2.0 kA/cm2，激射波长为392-395 nm，连续激射输出光功率可达80 mW。图1为紫外激光器的激射光谱，图2为P-I曲线，图3为紫外激光器激射时照到复印纸上形成的蓝色荧光光斑（紫外光人眼看不见，紫外激光照到复印纸上会发出蓝色荧光）。

该工作得到了国家重点研发计划、国家自然科学基金、科学挑战计划、中科院百人计划等多个项目的支持。

[attachment=74648]
图1. GaN基紫外激光器激射光谱

[attachment=74647]
图2.GaN基紫外激光器的P-I曲线

[attachment=74649]
图3.紫外激光器激射时照到复印纸上形成的蓝色荧光光斑

excavator	2016-12-27 00:29
谢谢分享 AzPu)

mang2004	2016-12-27 00:31
好消息！谢谢楼主。

redplum	2016-12-27 01:22
好厉害啊的好东东

likaihit	2016-12-27 01:23
真厉害啊

bairuizheng	2016-12-27 02:48
激射波长为392-395 nm，连续激射输出光功率可达80 mW。

tassy	2016-12-27 03:39
好厉害啊的392-395

dushunli	2016-12-27 04:50
突破亮点！

lynn0089	2016-12-27 06:20
紫外激光器

fengxiaoguo1	2016-12-27 06:42
这是一大突破，值得赞扬！

fengxiaoguo1	2016-12-27 06:44
在光刻领域有应用前景！

文刂大田	2016-12-27 07:48
了解了解

光润	2016-12-27 08:03
好消息！

yzktst	2016-12-27 08:06
激射波长为392-395 nm，连续激射输出光功率可达80 mW。

mjs99	2016-12-27 08:11
中科院半导体所研制出GaN基紫外激光器

hbbofei	2016-12-27 08:22
紫外激光器的研制成功也是我国在GaN基蓝光和绿光激光器突破之后取得的又一重要进展。

落叶知秋	2016-12-27 08:27
好厉害啊

ldmin2008	2016-12-27 08:30
GaN被称为第三代半导体，在光电子学和微电子学领域有广泛的应用，其中GaN基紫外激光器在紫外固化、紫外杀菌等领域有重要的应用价值，也是国际上的研究热点。

liufeng0911	2016-12-27 08:33
紫外激光器

翔羽000	2016-12-27 08:36
GaN基紫外激光器

一叶偏舟	2016-12-27 08:51
支持先进的技术发现

中西医	2016-12-27 09:11
采用MOCVD生长出高质量的器件结构。

浅蓝zz	2016-12-27 09:12
新突破

白雪红梅	2016-12-27 09:15
紫外激光器

liu.wade	2016-12-27 09:39
谢谢分享

tantianbo	2016-12-27 10:01
这个可以的

北极星的天空	2016-12-27 10:02
这个波段的紫外激光器用途很广，功率貌似还不错，功率随电流变化线性度挺好。

贝阿朵啧啧	2016-12-27 11:59
GOOD JOB

宋光明	2016-12-27 12:08
光学需要精尖人才

紫国梧桐	2016-12-27 14:17
很了不起的成就！

lilijiang	2016-12-27 14:38
赵德刚团队研制出GaN基紫外激光器

mako	2016-12-27 16:26
顶楼主，学习学习

a_uvled	2016-12-27 17:33
这个吊了波长带宽这么窄小弟是做uvled固化设备的有时间大家一起交流一下

a_uvled	2016-12-27 17:35
楼主你这个光源发出的光功率密度能达到多少啊，还有就是光源发出热能大概有多高啊

wangjin001x	2016-12-27 19:23
中科院半导体所研制出GaN基紫外激光器

tomryo	2016-12-27 19:29
中科院半导体所研制出GaN基紫外激光器

coldsea	2016-12-27 20:33
新一代激光器

jellyfish	2016-12-27 22:05
看來激光產業及應用又往前跨了一大步

g1137	2016-12-27 23:40
科院半导体所研制出GaN基紫外激光器

a_uvled	2016-12-28 09:49
yzktst:激射波长为392-395 nm，连续激射输出光功率可达80 mW。 (2016-12-27 08:06) c /HHy, vn!3l1\+J 80mw/cm2还是80w/cm2哦 8@Q$'TT6} 如果是80w/cm2那就牛逼了

查看本帖完整版本: [-- 中科院半导体所研制出GaN基紫外激光器 --] [-- top --]