“超光滑表面无损检测仪”项目研制工作启动

国家重点研发计划重大科学仪器设备开发项目“超光滑表面无损检测仪”研制工作，10月9日在成都启动。未来其将广泛用于微电子集成电路、太阳能电池基片，及大型高功率固体激光系统、空间光学系统等设备检验检测。

在集成电路、半导体等微电子芯片的基片制造，及激光器、空间望远镜等现代大型光学工程领域，超光滑表面无损检测设备就像一把“光学卡尺”，能够通过对弯曲度、表面质量等关键参数测量，极大提升我国上述领域的制造水平。由成都太科光电牵头研制的“超光滑表面无损检测仪”，将用于非透明物体超光滑表面，以及具有多层超光滑平行反射面透明物体的纳米级表面形貌高精密测量，其测量面积达到Φ150mm，测量精度达到1毫米至700微米。“较大检测面积和非接触式精准测量，是该设备的最大特点。”成都太科光电总经理赵智亮说，在纳米级材质的芯片检测中，任何接触都可能造成损伤，新仪器将以光学测量为基础，采用多表面分离算法，实现非接触式无损测量。同时，它还能在大型高功率激光系统、极紫外光刻、航空航天空间光学领域的大口径元件面形、材料特性等参数测量领域发挥作用。

wangjin001x	2016-10-12 23:34
超光滑表面无损检测仪”项目研制工作启动

dushunli	2016-10-13 00:06
新的开始计划！

redplum	2016-10-13 00:29
哪个单位承担的

tomryo	2016-10-13 01:05
超光滑表面无损检测仪”项目研制工作启动

tassy	2016-10-13 01:11
新计划开始！

bairuizheng	2016-10-13 03:56
kan kan

yzktst	2016-10-13 07:58
哪个单位承担的

aqwww12333	2016-10-13 08:00
检测技术的进步！

liufeng0911	2016-10-13 08:10
检测技术

52orange	2016-10-13 08:20
非接触式无损测量

climberhua	2016-10-13 08:40
超光滑表面无损检测仪”项目研制工作启动

我是子风子	2016-10-13 08:48
超光滑表面无损检测仪”项目研制工作启动

ldmin2008	2016-10-13 08:52
超光滑表面无损检测仪

yasimin	2016-10-13 09:01
我是来拿分的

dengqian072	2016-10-13 09:08
国家转型升级，大型高精尖的仪器是必然发展趋势！

opticwc	2016-10-13 09:15
超光滑表面无损检测仪”项目研制工作启动

mjs99	2016-10-13 09:17
“超光滑表面无损检测仪”项目研制工作启动

liu.wade	2016-10-13 09:23
超光滑表面无损检测仪”项目研制工作启动

tantianbo	2016-10-13 09:24
这个可以有

断点坐标	2016-10-13 09:52
新的开始计划！

白雪红梅	2016-10-13 10:56
好厉害

紫国梧桐	2016-10-13 11:06
确实应该发展，迫在眉睫！

hbbofei	2016-10-13 11:08
超光滑表面无损检测仪

文刂大田	2016-10-13 12:07
超光滑表面无损检测仪

studyyy	2016-10-13 13:44
预祝成功！

ziteng3315	2016-10-13 14:35
大型高功率固体激光系统、空间光学系统等设备检验检测

jiuxs	2016-10-13 15:01
很好的项目

小谈人生	2016-10-13 15:40
不明觉厉！

coldsea	2016-10-13 16:20
检测光学透镜的吗

jamesjarry	2016-10-13 21:32
哪个单位承担的

wangjin001x	2016-10-13 23:27
“超光滑表面无损检测仪”项目研制工作启动

查看本帖完整版本: [-- “超光滑表面无损检测仪”项目研制工作启动 --] [-- top --]