线性渐变滤光片的制备方法研究

摘要：提出了一种离子束刻蚀制备线性渐变滤光片（LOVF）的方法。离子束刻蚀过程中，通过在样片和离子束出射窗口之间加入开有三角形透射窗口的挡板以及样片水平方向多次来回运动完成楔形谐振腔层制备，配合离子束辅助反应电子束真空镀膜技术，完成线性渐变滤光片的制作。设计三组不同刻蚀次数的制作实验，制作出了工作波长为500~580nm、线色散系数为1.03nm.mm-1的线性渐变滤光片。实验结果表明，通过调节样品台运动速率或者刻蚀次数，能够制备出具有预期楔角谐振腔层的线性渐变滤光片。

optifdtd	2016-10-12 08:33
学习了解下。。。。。。

wanhaihu	2016-10-12 09:37
线性滤光片或者光阀专利很多啊，这个也许看过了，多看一次也无妨

wanhaihu	2016-10-12 09:46
果然是看过的，实际上就是调整下镀膜伞和修正板，需要镀膜伞和修正档板配合，要做到精准的渐变片需要设计修正档板和控制公转转速，实际上很难做到没批次一样。 JGk,u6K7 夹具解决了，镀减反膜或者吸收膜也是比较麻烦的，做光阀估计控制不好产品稳定性

optifdtd

2016-10-13 08:16

wanhaihu:果然是看过的，实际上就是调整下镀膜伞和修正板，需要镀膜伞和修正档板配合，要做到精准的渐变片需要设计修正档板和控制公转转速，实际上很难做到没批次一样。 TzL40="F
夹具解决了，镀减反膜或者吸收膜也是比较麻烦的，做光阀估计控制不好产品稳定性(2016-10-12 09:46)嬀/color] 6eK^T=

不知这些国内有没有厂家可以生产呢？

sgh920	2016-10-17 11:31
学习一下谢楼主分享 ?s"v0cg+

ren6199	2016-12-01 16:24
学习一下谢楼主分享

yuvia_ye	2017-01-22 08:42
学习了解下

knight627	2018-11-21 10:55
了解了解谢谢

小艾同学	2018-11-27 22:38
对这方面感兴趣，非常感谢！

小小谢	2023-06-10 10:23
学习了解下

小小谢	2023-06-10 10:24
对这方面感兴趣,ganxie

2000fox	2023-06-15 13:19
对这方面感兴趣，非常感谢！