脉冲激光沉积技术及其应用

脉冲激光沉积技术及其应用摘要：

薄膜材料已在微电子元件、超导材料、生物材料等方面得到广泛应用 ,为了得到高质量的薄膜材料 ,脉冲激光沉积技术受到了广泛的关注。介绍了脉冲激光沉积技术的原理、特点 ,综述了其在制备半导体、高温超导、类金刚石、铁电、生物陶瓷薄膜等方面的应用和研究现状 ,展望了该项技术的应用前景。

zhrui_2000	2016-08-31 06:28
学习学习，楼主辛苦了

查看本帖完整版本: [-- 脉冲激光沉积技术及其应用 --] [-- top --]