jiajia80 |
2016-08-04 18:24 |
线阵CCD在尺寸测量方面的应用
一、引言 < u^41 m=y6E,
_ 电荷耦合器件(CCD)是以电荷为信号载体的传感器,属于集成光电传感器,主要应用于光电图像的传感。自从CCD于1970年首先在美国研制成功,它就一系列与众不同、无可比拟的优势就显示出来:灵敏度高、几何尺寸精确、光谱响应宽、动态范围大、操作容易、维护方便等。一般说来,CCD输出信号有以下几个特点: lzxn} TO} (1)能够输出与光像位置相对应的时序信号。 )03.6Pvs (2)能够输出各个脉冲彼此独立相间的模拟信号。 ,pAMQ5 (3)能够输出反映焦点面信息的信号。 X)nOY* 我们将光源、光学系统与这三个特点相结合,可以实现尺寸的测量。而尺寸的测量在一些场合时非常有必要的,特别是高精度尺寸测量。在工业生产和科学实验中,经常碰到微小尺寸的检测问题,如细丝、薄板、狭缝等,不仅费时费力,而且精度较低,不便于实时检测、显示和控制,其应用范围也受到一定的限制⋯。近年来,利用线阵CCD进行无接触一维测量已经得到广泛应用。线阵CCD器件具有许多优点: qTffh{q V (1)非接触式,避免对所测器件的损伤。 l(&CO<4q? (2)高速测量,动态性能好,可以测高速机械运动的物体的尺寸。 J'B; (3)空间分辨率高,可以实现高精度测量。 2< | |