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2016-08-01 09:49 |
VLF示例-受粗糙光栅表面影响的光栅级次效率分析
该案例介绍了一个正弦光栅的仿真,该光栅表面具有随机变化的粗糙度结构。此外,分析了对衍射级次的影响,特别是衍射效率。
Iu<RwB[#Q eVDO]5? 1. 建模任务 $kc*~V~ ?`jh5Kw%y [attachment=71642] [QC|Kd^# 一个正弦光栅不同衍射级次的严格分析和优化。 q-3,p. 对于该仿真,采用傅里叶模态法。 ^Q)&lxlxpx hrLPyV: 2. 建模任务:正弦光栅 7od6`k ~7$NVKE x-z方向(截面视图) 5e> <i .?C-J [attachment=71643] 6Dx^$=Sa$ 光栅参数: -UJ; =/ 周期:0.908um az5 $. 高度:1.15um +W{ELdup%q (这些参数提供了一个具有均匀分布传输效率0级和±1级衍射级次,详见案例341) DOk(5gR BQ We8D 3. 建模任务 bV'^0(Zv Gw\-e;, [attachment=71644] 6k|^Cs6~z d nZA+Pa U{^~X_? VirtualLab光栅工具箱提供的光栅级次分析器,可对光栅衍射效率进行严格的计算。 x)+3SdH 4 w$f- 利用该分析器,也可以分别计算出现的每个衍射级次的衍射效率。 `i'72\( &mG1V [attachment=71645] {$dq7m( G4VdJ(_ 4. 光滑结构的分析 tC4:cX ~M>EB6 [attachment=71646] W.B;Dy,Y }"V$li 计算衍射效率后,结果可在级次采集图中显示。 nUgZ]ag=G 对于光滑结构,参数平稳,0级和±1衍射级次的传输效率大约为32% .V4w+:i 0`{3|g [attachment=71647] #u<^ #Tr>[ZC 5. 增加一个粗糙表面 o$S/EZ k^x[(gw [attachment=71648] "kYzgi VirtualLab光栅工具箱可将两个界面进行组合(如添加)。 l6YToYzE2 因此任意光栅形状(如正弦光栅)可以与粗糙表面组合,形成粗糙光栅面型。 IvW%n(a8^ eU[f6OGqC [attachment=71649] FEd We\E Z#J
cNquM :^G;`T`L GT -(r+u 该粗糙面有可通过几个选项来实现表面的变化(如周期化)。 Ezvm5~< 第一个重要的物理参数称为”最小特征尺寸”。 'aq9]D_k 第二个重要的物理参数是定义”总调制高度”。 CY"iP,nHl r-r)'AAO [attachment=71650] UG]]Vk1d] y<53xZi 6. 对衍射级次效率的影响 t *8k3" AU3Ou5 #/UlW 粗糙度参数:
$O+e+Y 最小特征尺寸:20nm Ql%0%naq1 总的调制高度:200nm xh7[{n[; 高度轮廓 IQ& | |