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2016-07-26 10:23 |
VLF示例-光栅结构中场分布的严格分析
案例024(3.0) T?FR@.
Rm *CXVA&? 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 K3t^y`z >pA9'KWs] 1. 建模任务1:金属光栅 P(Hh%9'(
[attachment=71528] Y~M H n7Ia8?8-l 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 O8ZHIs 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 zHCz[jlrMq -vC?bumR% 2. 建模任务2:介质光栅 W1J7$
[attachment=71529] [t`QV2um 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 c8jq.y v 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 `_v|O{DC{ BK]q^.7+: 3. 建模任务 /P|jHK|{
[attachment=71530] [attachment=71531] XX(;,[(_ ,Z I"+v VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 _sCpyu 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 `p%&c%*A 场分布计算能够检测结构内部的热点 Z`b{r;`m8 R#Bdfmldq 4. TE和TM照明线性光栅 @YTZnGG*
[attachment=71532] vH#^ |u 5. 铬狭缝的分析 s0"1W"7vh
[attachment=71533] ?o9g5Z ~dK)U*Q 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 YX_p3 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 R{hKl#j;> 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 f z8eL:i: 红线说明了结构的形状(手动添加) m.p{+_@M& 5A6d] 6. 三角光栅的分析 MLcc
[attachment=71534] 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 5!G}*u.
[attachment=71535] x*[\$E`v g+k0Fw]! 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 "tbKKh66 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 PQ|kE`' 红线说明了结构的形状(手动添加)。[attachment=71536] eJ#q! < 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 GV([gs
[attachment=71537] |L4K# 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 :WTO*M 红线说明了结构的形状(手动添加)。 iVt6rX 1G+42>?<1 7. 总结 m$:o+IH/ MDS;qZx= VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 Kuy,qZv!" 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 snV,rZ 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 yla&/K;|* 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 8hi|F\$_h
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