!m"LIa#/Cs 案例315(3.1) sU! h^N$ eG&\b-% 该应用案例说明了两个不同紫外光谱偏振片的参数优化,紫外偏振片具有亚波长线栅结构。两个系统具有不同的功能,如193nm工作波长和以及在期望光谱范围内效率的一致性。 d` %8qLIW @32~#0a 1. 线栅偏振片的原理 kW#,o 9f\ [attachment=70652] 带金属脊的线栅偏振片(如铝,铬等)。 ~QgyhJM_h= GKT2x '(e 2. 建模任务 t"x
8]Gy
[attachment=70653] &.XlXihnt ~e*3_l>9 全部透射光线的严格仿真和结构参数的优化。 p)6!GdT 偏振元件的重要特性: Zk,`
Iq 偏振对比度 j5Kw0Wy7 透射率 h1}U#XV 效率一致性 FvYgp bEZ 线格结构的应用(金属) 7k,pUC-w7c aF*KY<w 3. 建模任务: x-z方向(截面) x-y方向(俯视图) [attachment=70654] t/55tL sZe$?k| 4. 建模任务:仿真参数 }L
mhM H#H@AY3Y 偏振片#1: 4'3do>! 偏振对比度不小于50@193nm波长 eS#kDa/ % 高透过率(最大化) mm}y/dO~} 光栅周期:100nm(根据加工工艺) kY>jp@wV 光栅材料:钨(适用于紫外波段) S!+c1q:
]. 偏振片#2: qt_ocOr 偏振对比度不小于50@300—400nm波段范围内 )/HbmtX qI 在波长范围内具有5%一致性的高透过率 +cH,2 ^& 光栅周期:100nm o>|&k]W/ 光栅材料:钨 a ?D]]0%
Lk%`hsv 5. 偏振片特性 \^o8qw'pt bn7"!6 偏振对比度:(要求至少50:1) |Gp!#D0b ?^Gi;d5 [attachment=70655] k+9*7y8w s;brs} 一致性误差,如Ex的透射(在要求波长范围内不超过5%) G5WQTMzf& ~[8n+p+&X [attachment=70656] r ^=rs!f@ [U5@m]>^ 6. 二维光栅结构的建模 NS<C"O
[attachment=70657] j1zrjhXI 87!D@Xn 该案例使用一般二维光栅工具,该工具嵌入在VirtualLab光栅工具箱。 TxJoN]Z. 通过使用该功能可处理不同类型的光栅形状。 oW}nr<G{< 通过一个矩形光栅结构来模拟紫外线栅偏振片。 FOPfob[ z*V 8l*
[attachment=70658] Xr:gm`[ H1GmC`\<[: 7. 偏振敏感光栅的分析 '/OcJVSR
[attachment=70659] J.EBt3 可通过“偏振分析器”对偏振敏感光栅进行分析,该工具是VirtualLab光栅工具箱的一部分。 mkE_ a> 偏振片最重要的几个特性可直接进行选择(如偏振度、透射率和反射率) Yg/g9$' 此外,分析器提供了许多选项。如波长变化和入射角。 45.<eWH$*( 8. 利用参数优化器进行优化 A<h^.{
[attachment=70660] 8H'ybfed BGd# \2 利用VirtualLab参数优化器可根据给定的评价函数轻松地对结构参数进行优化。 SND@#?hiO 如要求的效率和偏振对比度等,可在优化结构参数中找到。 D`|8Og 在该案例种,提出两个不同的目标: (k^%j #1:最佳的优化函数@193nm /^]/ iTg #2:在300nm至400nm间一致性优化函数 {EfA#{x #fYRsVQ 9. 优化@193nm qX[{_$^Q [attachment=70661] zif& |