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VirtualLab实例_紫外光栅偏振片的参数优化
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infotek_vlf
2016-06-01 16:46
VirtualLab实例_紫外光栅偏振片的参数优化
_\E{T5
案例315(3.1)
\PS{/XK
d,=Kv
该应用案例说明了两个不同紫外光谱偏振片的参数优化,紫外偏振片具有亚波长线栅结构。两个系统具有不同的功能,如193nm工作波长和以及在期望光谱范围内效率的一致性。
0_yE74i
8 v NgePn
1. 线栅偏振片的原理
vW4~\]
[attachment=70652]
带金属脊的线栅偏振片(如铝,铬等)。
`@GqD
S,T?(lSl
2. 建模任务
)6|7L)Dk
[attachment=70653]
H5t 9Mg|
8@%Xd^
全部透射光线的严格仿真和结构参数的优化。
b i^h&H
偏振元件的重要特性:
2m.RM&TdB
偏振对比度
HZMs],GX
透射率
9xWC<i
效率一致性
Z=%+U _,
线格结构的应用(金属)
/UeLf$%ZW
-1Y9-nn[m
3. 建模任务
:
x-z方向(截面) x-y方向(俯视图)
[attachment=70654]
l,uYp"F,ps
~82[pY
4. 建模任务
:仿真参数
]2G5ng' @
}HS:3Dt
偏振片#1:
]D^ dQ%{
偏振对比度不小于50@193nm波长
0P`wh=")
高透过率(最大化)
Li ,B,
光栅周期:100nm(根据加工工艺)
mhTpR0
光栅材料:钨(适用于紫外波段)
1@IRx{v$
偏振片#2:
OJE<2:K
偏振对比度不小于50@300—400nm波段范围内
Wz$%o'OnC
在波长范围内具有5%一致性的高透过率
.4={K)kz|F
光栅周期:100nm
H e]1<tx
光栅材料:钨
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Z :f0>
5. 偏振片特性
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WujIaJt-
偏振对比度:(要求至少50:1)
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E#"QaI8`
[attachment=70655]
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Q0~5h?V'
一致性误差,如Ex的透射(在要求波长范围内不超过5%)
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[attachment=70656]
m%V+px
5A 1oZ+C#
6. 二维光栅结构的建模
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[attachment=70657]
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Okk[}G)
该案例使用一般二维光栅工具,该工具嵌入在VirtualLab光栅工具箱。
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通过使用该功能可处理不同类型的光栅形状。
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通过一个矩形光栅结构来模拟紫外线栅偏振片。
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P Y +~,T2
[attachment=70658]
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7. 偏振敏感光栅的分析
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