首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> 請問關於MGF2之異常現象 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

rexchou 2016-04-29 19:18

請問關於MGF2之異常現象

最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發現有水滴狀的色斑在玻璃表面 dc~vQDNw[X  
Pq35w#`!  
若無鍍MGF2則無此現象,推估為MGF2造成 s"nntC  
5N6R%2,A  
不知道是為什麼,且放一段時間會消失(約3~7天),有人有預過這種情況嗎?? d^$cx(2$D  
NcwUK\  
希望有人可以告訴我,或者提供意見交流 s2QgR37s>  
tRc 3<>  
P.S. ak3WER|f#  
}3XjP55  
AR與MGF2皆為EB製程 s5{H15  
bzZdj6>kX  
膜層結構為 G / L / H / L / H / L / M H3d|eO4+W  
SJj_e-  
起鍍真空為5E-4pa
yangyangyang 2016-05-05 22:58
从你发的来看,应该问题是出在放气阶段产生的,你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下,我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅,优化一下膜系实验一下
rexchou 2016-05-09 17:50
yangyangyang:从你发的来看,应该问题是出在放气阶段产生的,你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下,我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅,优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  "6?Y$y/wm  
)In;nc  
我用的材料為石英 }_Sgor83n  
L`^ v"W()  
您說的沒錯 KHaYb5(a[  
Dp@m"_1`+  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 ?0s&Kz4B  
a[lx&CHgI  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題
rexchou 2016-05-09 17:51
yangyangyang:从你发的来看,应该问题是出在放气阶段产生的,你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下,我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅,优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  QV%eTA  
RAEiIf!3  
我用的材料為石英 f^XfIH_#  
_~ 7cn  
您說的沒錯 s8kkf5bu  
HR k^KB  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 'P-FeN^  
akA C^:F  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題
jakzhou 2016-05-24 17:40
好东西
jakzhou 2016-05-27 11:11
什么呀
贾松山 2016-05-27 12:51
氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的,举例说当最外层氟化镁少时,用纯水 超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下,
jakzhou 2016-06-02 09:54
ipnuk 泥浆中
长江 2016-07-28 21:15
是个好方法
囊中蓄乾坤 2017-04-07 12:21
好东西,学习了
奔跑的小骏马 2017-07-22 10:33
学习了,不过最外层MgF2对后续加工可能影响较大,会出现膜层渗水等现象。
爱哭的云彩 2017-08-29 22:54
jakzhou:好东西 (2016-05-24 17:40)  C"ZCX6p+$  
&wZ:$lK#o  
学的很好
爱哭的云彩 2017-08-29 22:55
rexchou:我用的材料為石英 F/}PN1#T  
您說的沒錯 8<6;X7<-  
....... (2016-05-09 17:51)  6?ylSQ]1  
!T|X/B R  
谢谢专家门的意见
爱哭的云彩 2017-08-29 22:55
yangyangyang:从你发的来看,应该问题是出在放气阶段产生的,你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下,我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅,优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  L*1C2EL/q  
hO@'WoniW  
原来是这样的
爱哭的云彩 2017-08-29 22:55
贾松山:氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的,举例说当最外层氟化镁少时,用纯水 超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下, (2016-05-27 12:51)  a1_7plg  
1RZhy_$\.  
还可以这样玩
lgc1316 2020-09-28 13:28
MgF2 放最外層的  在相同AR總層數下  可以得到更低的模擬結果    ;     你可以試試看做鍍率實驗 應該可以得到正解  或是試著從新優化 降低mgf2厚度  
查看本帖完整版本: [-- 請問關於MGF2之異常現象 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计