VirtualLab示例_大角度光图案的生成
应用VirtualLab Fusion优化高数值孔径衍射光学元件 Ag^Cb'3X
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大角度光图形可用于： F`r=M%y h
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■ 测量标记 dr'#
■激光表演 y7txIe!<5
■ 运动控制设备 ({87311%
■ 线性投影设备 .-Ggv w
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运用衍射光学元件(DOEs)可以生成任意的大角度二维光图案，也称为计算机制全息图、相位板以及开诺全息照片(见1)。将高数值孔径图案投影到一个平面上去会出现枕形失真以及随角度的增大辐照度下降，在设计过程中必须对此予以补偿 lZ'-?xo
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图1.通过大角度衍射分束元件产生的斑点图案。全视场70°。衍射光学元件的特征尺寸小到450nm。 MPhO #;v
VirtualLab 为用户提供了功能强大且用户界面友好的工具用于大角度衍射光学元件的设计，其功能涵盖了从系统设计到加工数据的输出的整个设计过程： B>Mr /'
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■ 功能强大的设计算法：迭代傅里叶变换算法和参数优化； 2'$p (
■ 失真和辐照度损失的预补偿（见图2）； "z8L}IC!e5
■ 以多种格式导出加工数据，如STL和GDSII。 ;<O Iu&,*
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■ 示例.385: 高数值孔径模型扩散器的优化 。 89?$xm _m
■ 示例.386: 高数值孔径衍射分束器的设计 。 Ox#%Dm2
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图2.a) 通过标准设计生成大角度光图案后显示的典型枕形失真；b)利用VirtualLab Fusion在设计过程中可以补偿几何畸变。 F
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