VirtualLab运用：利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) 6O <UW.
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关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 q 3<kr<SP
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1. 描述 zak|* _
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 rlaeqG
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ae2Q^yLA
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 y^"@$
l n\qvD_
2. 系统 N+ak{3
- V:HT
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[attachment=67679] 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd `%
Qv CAR
3. 透镜系统组件编辑 n1JtY75#,/
[attachment=67680] 9b/Dswxjx
■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 4-t^?T: qF
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 j.ucv
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 ^D N:.qQ
■ 包括序列光学表面和光学介质。 )S
7+y6f&*
c:.~%AJx
4. 光线追迹系统分析器-选项 c} +*$DeT
z)S6f79`Q
[attachment=67681] 'f!U[Qatg
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 i84!x%|P
■ 可以选择选取光线的方法： V
^+p:nP
— 在x-y-网格 <)p.GAZ
— 六边形 D8< C7
— 自由选取 3*&
Y'/!
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 vjq2(I)u
uN:KivVe
5. 系统的3维视图 wS);KLe3
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[attachment=67682] JwB'B
6. 其他系统参数 ICb!AsL
■ 系统由单色平面波照明 +]s,VSL5`
■ 照明波长266.08nm
v&|65[<
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： QYMfxpi C
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ^3TNj
— 一个虚拟屏位于焦平面 (Kwqa"Hk4{
— 光束尺寸探测器置于焦平面 U
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■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 "~5cz0
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H.m]Dm,z
7. 光线追迹系统分析器的结果 {YgU23;q
V2ih/mh
[attachment=67683] 光线经过整个光学系统的三维视图 `R$i|,9 )
[attachment=67684] 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） 755,=U8'wi
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 @^< odmM
)"S% 'myj
[attachment=67685] Z-Uu/GjB
■ VirtualLab可用于计算点列图。 7ocUFY0"
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 V9,<>
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ?1D !%jfi
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色[attachment=67686] u<Kowt<ci
r*+~(83k
9. 焦平面上的结果 y)fMVD"(
[attachment=67687] Qds<j{2
bGCC?}\
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 v-tI `Qpb
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 68XJ`/d
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm :$$~$P
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 =mO5~~"W+v
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 |Dn Zk3M,
vN'+5*Cgy6
10. 总结 (dq_ ,LI
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 L N|(Z*
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 Xg C^-A w
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 A?H#bRAs
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 Vr
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（来源：讯技光电）
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