VirtualLab运用：利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) O'DW5hBL0
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关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 7^: 4A'
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1. 描述 BavO\{J#|0
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 :@3Wg3N
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 W WG /k17
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 pchBvly+0
y 'M#z_.z
2. 系统 ,?-\
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`,>wC+}
[attachment=67679] 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd vS? odqi#n
3. 透镜系统组件编辑 c u7(.
[attachment=67680] /SR^C$h'I
■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 `,Vv["^ PB
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 gn1(4
o
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 @R2at
■ 包括序列光学表面和光学介质。 -uR72f
GA3sRFZdQ
4. 光线追迹系统分析器-选项 bE\, }DTy
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[attachment=67681] }IkQA#4$
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 *OTS'W~t
■ 可以选择选取光线的方法： JBX[bx52<r
— 在x-y-网格 &Ra l+J
— 六边形 5,KWprb
— 自由选取 v K '?:}~
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 n&XGBwgW
tiaR4PB
5. 系统的3维视图 nKh&-E
odu DA:
[attachment=67682] zY9 H%
6. 其他系统参数 15H6:_+=0
■ 系统由单色平面波照明 1cJsj
■ 照明波长266.08nm i u ]&;
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： "4xfrlOc
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 NX6nQ
— 一个虚拟屏位于焦平面 )ZR+lX }
— 光束尺寸探测器置于焦平面 ^>$P)=O:v
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 m6n!rRQ^U
u Q Co6"e
7. 光线追迹系统分析器的结果 |;vi*u
2 h |e
[attachment=67683] 光线经过整个光学系统的三维视图 yX/";Oe
[attachment=67684] 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） viaJblYj(f
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 le >Wm& E
qN|
fEO >
[attachment=67685] U]4pA#*{|
■ VirtualLab可用于计算点列图。 rP=sG;d
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 JiS5um=(.
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 34 AP(3w
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色[attachment=67686] ra7uU*
>v5k{Cbp0
9. 焦平面上的结果 o >D
[attachment=67687] =!MY4&YX
:Ao!ls' =
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Yx d X#3
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 }-<zWI {p
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm #
'|'r+
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 .V'V :;BE%
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 Vd9 @Dy
0Fr1Ku!
10. 总结 f^Bc
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ZXb0Y2AVx
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 rw%l*xgX
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 T6 #"8qz<
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 V`hu,Y;%
P* #8 ZMA<
（来源：讯技光电）
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