VirtualLab运用：利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) 51'SA
B09
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关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 QQ8W;x
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1. 描述 }&hgedx
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 4V3
w$:,
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 #9"_|d=l
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 W"@lFUi
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2. 系统 i(kK!7W35
u Q1;+P:L
[attachment=67679] 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd d9( Sj?
3. 透镜系统组件编辑 Y% 9F
[attachment=67680] m?`Rl6!@8\
■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 F}[;ytmUS
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 &3?yg61Ag
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 mf' 1.{
■ 包括序列光学表面和光学介质。 JOq<lb=
4!qDG+m
4. 光线追迹系统分析器-选项 v w;
.e+UgC wi
[attachment=67681] 6p{x 2>2y[
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 + yI^<BH
■ 可以选择选取光线的方法： m(P)oqwM
— 在x-y-网格 0-HE, lv
— 六边形 f}!26 [_9{
— 自由选取 #|i{#~gxM
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 ;~;St>?\R\
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5. 系统的3维视图 l[| e3< H
DV" ri
[attachment=67682] ^)pY2t<^
6. 其他系统参数 B6o AW ,3
■ 系统由单色平面波照明 Q(3 x"+
■ 照明波长266.08nm ~MO C r
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： h`j gF
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 o7seGw<$X
— 一个虚拟屏位于焦平面 uy{KV"%"^g
— 光束尺寸探测器置于焦平面 vm4oaVi
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 $)~]4n=
d`/{0 :F
7. 光线追迹系统分析器的结果 `yXy T^
K gX)fj
[attachment=67683] 光线经过整个光学系统的三维视图 T5; D0tM/
[attachment=67684] 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） < H/H@xQ8G
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Hyg?as>}u
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[attachment=67685] !U a#smZ
■ VirtualLab可用于计算点列图。 Nj\WvKG
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 78-:hk
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 0iHI "9z
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色[attachment=67686] i=T/}c)
5
S& >9l
9. 焦平面上的结果 TW0^wSm
[attachment=67687] =qvU9p2o
V p$ckr
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Gov{jksr
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 \zwb> ^
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 0a'y\f:6*
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 urB.K<5ZA
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 Z5=!R$4
Dr:}k*
10. 总结 &Te:l-x
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 L8 J/GVmj
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 M{QNpoM
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 <k!G%R<9
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 ngjbE +
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（来源：讯技光电）
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