VirtualLab运用：利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) 84 b;G4K
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关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 \q Q5 x
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1. 描述 Jkpw 8E7
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 pW:h\}%`n
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 0o At=S
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 , 9|%
^K@r!)We
2. 系统 U`FybP2R~
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[attachment=67679] 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd 98Srn63O
3. 透镜系统组件编辑 V== ' 7n
[attachment=67680] T_Z@uZom.
■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 eN/s W!:P|
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 X]cB `?vR
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 M42Zpb].
■ 包括序列光学表面和光学介质。 P)1@HDN==
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4. 光线追迹系统分析器-选项 dwrc"GK!o
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[attachment=67681] =e$
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■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 IS&`O= 7
■ 可以选择选取光线的方法： `Kym{og
— 在x-y-网格 (N;Jw^C@
— 六边形 zmr=iK
— 自由选取 hp -< 8Mf
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 CS r{MF`]e
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5. 系统的3维视图
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[attachment=67682] X&wK<
6. 其他系统参数 + W@r p#
■ 系统由单色平面波照明 rA ` zuYo
■ 照明波长266.08nm 15yIPv+5
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： iM8hGQ`
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
)[p8
— 一个虚拟屏位于焦平面 X'k w5P!sq
— 光束尺寸探测器置于焦平面 =7e8N&-nv
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 w-B\AK?}
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7. 光线追迹系统分析器的结果 3 0DpIkf
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[attachment=67683] 光线经过整个光学系统的三维视图 L+I[yJY:!
[attachment=67684] 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） '')G6-c/
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 So`xd
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3M%EK2 ,
[attachment=67685] %i.|bIhmm
■ VirtualLab可用于计算点列图。 :[ITjkhde0
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 6:B5PJq
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 @J r
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色[attachment=67686] s|,]Nb=z/
+ ixDB0"\
9. 焦平面上的结果 !?l 23(d
[attachment=67687] 50I6:=@\\
PU'v o4
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 {;p /V\
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 66|lQE&n
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 9txZ6/
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 qh2.N}lW
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 ADR`j;2
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10. 总结 xDQ$Ui.
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 jV <LmVcZY
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 wR;l"*j
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 w}YHCh
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 ]$L[3q A.
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（来源：讯技光电）
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