VirtualLab运用：利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) /[Z,MG
Ttxqf:OMf
关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 EGZb7:Y?
ZJwrLV
1. 描述 MxGu> r
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 L5#P[cHzz
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 J(c{y]` J
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 &jsVw)Ue
r :F
2. 系统 % !du,2
F8;dKyT?q
[attachment=67679] 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd xER\ZpA :,
3. 透镜系统组件编辑 EmODBTu+
[attachment=67680] A8pIs
■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 & _~+ (
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 c0hwc1kv-
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 `e(vH`VZ
■ 包括序列光学表面和光学介质。 d!:6[7 X6
<^zHE=h"
4. 光线追迹系统分析器-选项 9G+V;0 Q
qIY~dQ|
[attachment=67681] 9(6I<]#
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 w:? oTuw
■ 可以选择选取光线的方法： /c2w/+ _
— 在x-y-网格 0&/b4 2W
— 六边形 Iz
;G*W18
— 自由选取 );Z1a&K5k
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 #|*F1K
:_t }Q P"
5. 系统的3维视图 iVG-_RsKK
IRn2 |
[attachment=67682] sO.`x*
6. 其他系统参数 `67[O4$<
■ 系统由单色平面波照明 Nkp)Ax&
■ 照明波长266.08nm ]p;FZ4-T
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： |\U5) ,m
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 VY)9|JJCO
— 一个虚拟屏位于焦平面 cZT({uYGL
— 光束尺寸探测器置于焦平面 Ur5FC r
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 HO[wTB| D]
C-Ht(x |
7. 光线追迹系统分析器的结果 .N*Pl(<[
wb e<'/X+
[attachment=67683] 光线经过整个光学系统的三维视图 JB> b`W9
[attachment=67684] 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） +e-G,%>9
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ZeEWp3vW
"h|'} 7p
[attachment=67685] OX "j#
■ VirtualLab可用于计算点列图。 H6&J; yT}
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 r" K':O6y
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 XXh6 ^@H=
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色[attachment=67686] # hlCs
2hee./F`
9. 焦平面上的结果 IN,(y a C
[attachment=67687] Wy ZL9 K{?
;L,mBQB?0b
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 9 JWa$iBH@
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 4[BG#
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm $DZH QH
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 #Jna6
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 #^4,GL IM
RGK8'i/X
10. 总结 :Dd$i_3=
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 5 r? m&28X
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 Q7g>4GZC
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 6: ]*c[7
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 ; /0 Q1-
YG8>czC
（来源：讯技光电）
|