VirtualLab运用：利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) k? X7h2
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关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 iphe0QE[#}
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1. 描述 ^8-CUH\
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 1-4W4"#
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 zGF_ c9X
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 <rNCb;
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2. 系统 Qn_*(CSp
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[attachment=67679] 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd 5 ^+> *z
3. 透镜系统组件编辑 YQLp #
[attachment=67680] 6p])2]N>p
■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 Y;G+jC8
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 "aHA6zTB
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 ND77(I$3s
■ 包括序列光学表面和光学介质。 })%WL;~
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4. 光线追迹系统分析器-选项 A46Xei:Ow
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[attachment=67681] 1 : <f[l
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 h.(CAm%Y7
■ 可以选择选取光线的方法： fo@ 2@
— 在x-y-网格 {
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— 六边形 gq\ulLyOeZ
— 自由选取 .IXkdy
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
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5. 系统的3维视图 8bd&XieE
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[attachment=67682] k` cz$ >
6. 其他系统参数 Hx5t![g2K!
■ 系统由单色平面波照明 ;H}XW=vO
■ 照明波长266.08nm Fg;V6s/>ts
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： 3Uw}!>`%
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 b\& |030+
— 一个虚拟屏位于焦平面 RsU!mYs:H
— 光束尺寸探测器置于焦平面 XpFW(v
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 V~([{
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7. 光线追迹系统分析器的结果 &]~Vft
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[attachment=67683] 光线经过整个光学系统的三维视图 * c 9/ I
[attachment=67684] 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） 8$4@ U;Vh;
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 qD0s D2 x
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[attachment=67685] L Vt{ `
■ VirtualLab可用于计算点列图。 ( CDwl,
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ;iEr+
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 >. .C^8 "
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色[attachment=67686] rRgP/E#_
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9. 焦平面上的结果 jr, j1K@_t
[attachment=67687] ~
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MhT.Zg\
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 d'y\~M9(
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 fdk]i/*)
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm !5FZxmUup
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 +OM` c7M:
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 q3T p /M.
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10. 总结 afE`GG-
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 [R-&5 G!x
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 vMT:j
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ii,/omn:
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 W g \`!T
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（来源：讯技光电）
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