VirtualLab运用：利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) =\IcUY,4
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关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 ,^JP0Vc*
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1. 描述 Y4PU~ l
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 aO@zeKg
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 GnbXS>
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 }<Y3 jQnl
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2. 系统 2fc8w3
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[attachment=67679] 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd ldJ eja~Xl
3. 透镜系统组件编辑 A/NwM1z[o)
[attachment=67680] D_E^%Ea&`
■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 MI[=,0`D
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 ~g2ColFhu
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 GiBq1U-Q
■ 包括序列光学表面和光学介质。 9.5hQZ
B^(0>Da\
4. 光线追迹系统分析器-选项 r\+AeCyb"p
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[attachment=67681] wL 5p0Xl
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ilv6A9/
■ 可以选择选取光线的方法： SJVqfi3A
— 在x-y-网格 !F{ 5"$
— 六边形 fTM^:vkO
— 自由选取 "42u0rH0J
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 3"'|Ql.H
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5. 系统的3维视图 whP>'9t.w
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[attachment=67682] ]zVe% Wa
6. 其他系统参数 Dbr(Wg
■ 系统由单色平面波照明 lkp!S3,
■ 照明波长266.08nm rS9*_-NH
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： 6YT*=\KT
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 #'z\[^vp
— 一个虚拟屏位于焦平面 Qw x}e\=
— 光束尺寸探测器置于焦平面 h Mw}[6m
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 D00rO4~6D%
O*oL(dk*8L
7. 光线追迹系统分析器的结果 B d m<<<
{U=za1Ga
[attachment=67683] 光线经过整个光学系统的三维视图 #UU}lG
[attachment=67684] 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） ^~MHxF5d
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 $y=sT({VVe
-GP+e`d
[attachment=67685] L~ V
63K
■ VirtualLab可用于计算点列图。 s4SR6hBO
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 %{/0K<M
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 oq]KOj[
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色[attachment=67686] 7K9+7I&C
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9. 焦平面上的结果 &n Pv%P,e
[attachment=67687] "DWw1{ 5/
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ika{>hbH
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 Iu0K#.s_
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 0e8)* 2S
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 x#dJH9NR[
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 21 cB_"
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10. 总结 iO#H_&L.p
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
w SV[nK
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 lK I HBi
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 L6$,<}l
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 !0Xes0gK0
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（来源：讯技光电）
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