VirtualLab运用：利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) *wt yyP@
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关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 sxL;o >{
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1. 描述 dQM# -t4*
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 NOyL Za'
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 |U nTd$m
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 +a zPpGZ=
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2. 系统 ?Z4& j'z<
OpxVy _5,
[attachment=67679] 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd 2?t(%u f]
3. 透镜系统组件编辑 x|0Q\<mEe
[attachment=67680] 6(9Ta'ywZ
■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 d\;M F
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 3JW9G0 4.
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 ?]fBds=
■ 包括序列光学表面和光学介质。 -Qnnzp$]
Aog 3d\1$
4. 光线追迹系统分析器-选项 ';aPoaO %
I-/PzL<W P
[attachment=67681] 5[l3]HOO
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 W<!q >8Xn?
■ 可以选择选取光线的方法： 6}iIK,Om
— 在x-y-网格 eE7 R d>
— 六边形 o*p7/KvoT
— 自由选取 ItM?nyA
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 {(a@3m~a%
a]X6) 6
5. 系统的3维视图 rA=F:N
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[attachment=67682] yWzvE:!)
6. 其他系统参数 ;k
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■ 系统由单色平面波照明 PNc200`v4_
■ 照明波长266.08nm [&NF0c[i
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： fvit+
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ]
{NY;|&I'
— 一个虚拟屏位于焦平面 A L|fL
— 光束尺寸探测器置于焦平面 d0- }Xl
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Yf {s0Z
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7. 光线追迹系统分析器的结果 )>\Ne ~%
S}Mxm 2
[attachment=67683] 光线经过整个光学系统的三维视图 AZl=w`;/O%
[attachment=67684] 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） NmB0CbB
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 {g/\ 5Z\b
s ^)W?3t]
[attachment=67685] 1Za\T?V
■ VirtualLab可用于计算点列图。 O')Ivm,E
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 @.0jC=!l
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 uaU!V4 -
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色[attachment=67686] ]-* }-j`
2Y wV}
9. 焦平面上的结果 SF.,sCk
[attachment=67687] 8: s3Q`O
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 |d%D w^
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 Hlz4f+#I
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm :eIB K
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 g VG :z_6
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 i}wu+<Mk
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10. 总结 H[>_LYZ8
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 +,|-4U@dl
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 i( c2NPbX
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 c7iu[vE'+
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 3Ji,n ;QLm
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（来源：讯技光电）
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