VirtualLab运用：利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) d@4rD}_Z
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关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 i,#k}CNu
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1. 描述 NfTCp A
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 X&(<G
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 CGC-"A/W
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 x6^l6 N
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2. 系统 yuH Z& e
S9 G+#[.|
[attachment=67679] 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd :K~rvv\L7
3. 透镜系统组件编辑 3`A>j"
[attachment=67680] U@6jOZ
■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 sdJ%S*)5G$
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 S \e& ?Y`
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 4M}|/?<Br
■ 包括序列光学表面和光学介质。 7G5y)Qb
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4. 光线追迹系统分析器-选项 ZfPd0 p
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[attachment=67681] |h&<_9
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 (j' {~FB
■ 可以选择选取光线的方法： 90/v JN
— 在x-y-网格 "z^ (dF|
— 六边形 ~|r~NO
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— 自由选取 .u1X+P7
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 T><{ze
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5. 系统的3维视图 UJz#QkAio
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[attachment=67682] xvU]jl6d
6. 其他系统参数 K RYcCn
■ 系统由单色平面波照明 \dRzS@l
■ 照明波长266.08nm ~U6" ?
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： TQP+>nS,
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 t5.`! 3EO
— 一个虚拟屏位于焦平面 AL$W +')
— 光束尺寸探测器置于焦平面 } h[>U
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 M` GP^ Ta
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7. 光线追迹系统分析器的结果 y
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[attachment=67683] 光线经过整个光学系统的三维视图 k$h [8l( <
[attachment=67684] 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） G CT@o!
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 CRFCqmevR
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[attachment=67685] ~e P
■ VirtualLab可用于计算点列图。 Nbt GlSs8
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 8j%'9vPi
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Sp:l;SGd
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色[attachment=67686] Bv $UFTz
G.g|jP'n
9. 焦平面上的结果 [C1 LT2a
[attachment=67687] e}A&V +
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 = SAV|
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 7^$)VBQ/
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ?i~g,P]NK
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 8pXKO"u],
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 c<wavvfUo
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10. 总结 f1mHN7hxW
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 74 0B\pc0
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 -4w%Iy
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 brh=NA zt
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 H;NbQ
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（来源：讯技光电）
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