VirtualLab运用：利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) )?!vJb"
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关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 1zh$ IYrd
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1. 描述 u@GRN`yn
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ?l)}E
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 yq/[ /*7^
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 -&q Ro0^3
`f\5p+!<7R
2. 系统 C ffTv
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[attachment=67679] 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd _ 7-"Vo X
3. 透镜系统组件编辑 XD_P\z
[attachment=67680] d[s;a.
■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 {B'Gm ]4
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 D)H?=G
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 y8<lp+
■ 包括序列光学表面和光学介质。 x:f|3"\s
F'V +2,.
4. 光线追迹系统分析器-选项 o{ ,ba~$.w
t-v^-#
[attachment=67681] O0K @M
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 UPfFT^=y
■ 可以选择选取光线的方法： ir?U w:/f
— 在x-y-网格 :0J-ek.;
— 六边形 0Zc*YdH
— 自由选取 fl
pXVtsQ
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 *eJhd w*
q3 ,P|&T
5. 系统的3维视图 5~`|)~FA
+XU$GSw3(
[attachment=67682] RT.wTJS ;
6. 其他系统参数 4=?Ok":8
■ 系统由单色平面波照明 *3w/ `R<\
■ 照明波长266.08nm NPB ,q& Th
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： 9G`FY:(K
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 sx;V,"Y
— 一个虚拟屏位于焦平面 'T&=$9 g7
— 光束尺寸探测器置于焦平面 6T{o3wc;
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 u7WTSL%
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7. 光线追迹系统分析器的结果 f{+LCMbC6
3/A[LL|
[attachment=67683] 光线经过整个光学系统的三维视图 \,@Yl.,+
[attachment=67684] 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） Ovl?j&8
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 \dp9@y[^
Ovaj":L
[attachment=67685] r|JiGj^om
■ VirtualLab可用于计算点列图。 JR?
)SGB
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Z3X&<Y5
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 u>3&.t@hU1
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色[attachment=67686] NE=#5?6%g7
wB1|r{
9. 焦平面上的结果 Hg gR=>s
[attachment=67687] 3zA 8pI w
8 ACY uN\
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ,<^tsCI
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 UgnsV*e &
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm =E"kv!e
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 7(|3 O R+
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 H/^TX qQ8
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10. 总结 5KC\1pe i
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 0? 5%
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 TY54e T
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 TQ 5MKqR$
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 XW&8T"q7
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（来源：讯技光电）
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