VirtualLab运用：利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) #Jg )HU 9
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关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 C7,Ol0`v
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1. 描述 ~`T3 i
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Dk8"
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■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ?/Nx Z\
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 :tNH Cx
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2. 系统 entO"~*EX
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[attachment=67679] 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd sJ!AI
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3. 透镜系统组件编辑 jF{zcYU
[attachment=67680] H$WuT;cTE
■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 KI#),~n S
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 D@&0 P&
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 &R>x;&Gj
■ 包括序列光学表面和光学介质。 ,+%$vV
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4. 光线追迹系统分析器-选项 z R">'bM:
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[attachment=67681] Kp8!^os
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 * r$(lf
■ 可以选择选取光线的方法： $ !ka8)
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— 在x-y-网格 G5?Dt-;I
— 六边形 \Ua"gS2L
— 自由选取 r( :"BQ
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 (?D47^F &
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5. 系统的3维视图 I[G<aI!
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[attachment=67682] p'uk V(B
6. 其他系统参数 #GY ;.,
■ 系统由单色平面波照明 C ]p3,G,oN
■ 照明波长266.08nm +hqsIx
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： +QqYf1@F
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 2/x+7F}w5
— 一个虚拟屏位于焦平面 s=#3f 3
— 光束尺寸探测器置于焦平面 >y
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■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 m n)kd
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7. 光线追迹系统分析器的结果 $- EbJ
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[attachment=67683] 光线经过整个光学系统的三维视图 b<~\ IPY
[attachment=67684] 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） '/J}T -,Z
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ?n8gB7(FA
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[attachment=67685] D}r,t_]Eb
■ VirtualLab可用于计算点列图。 JF IUD{>fp
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 A bC /
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ^?VYE26
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色[attachment=67686] jqh d<w
]4ya$ %A
9. 焦平面上的结果 d:|X|0#\uH
[attachment=67687] CD;C z*c
i"p)%q~ z
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 +'Ec)7m
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 06|+ _
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 7loIX Qw
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 qCi6kEr
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 3.Oc8(N^}
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10. 总结 xv4_q-r[
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 y2bL!Y<s9
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 ^F"Q~ ?D)
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 yZE"t[q#O
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 ]L@V pHEj
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（来源：讯技光电）
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