VirtualLab运用：利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) 1r r@
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关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 +5 v}q.:+
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1. 描述 {+zJI-XN/
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 m xw dugr`
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 6`\]derSon
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 n gulc v
, (G% e
2. 系统 A{o ' z_zC
)_zlrX
[attachment=67679] 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd vAP{;Q0 i
3. 透镜系统组件编辑 7=4 A;Ybq
[attachment=67680] 9+Y D!y
■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 ~#:e *:ro
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 k6IG+:s
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 F)$K
■ 包括序列光学表面和光学介质。 'UM!*fk7C
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4. 光线追迹系统分析器-选项 O}Ui`eWU
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[attachment=67681] c( - Mc6
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 dTEJ=d40
■ 可以选择选取光线的方法： B'> *[!A
— 在x-y-网格 "C%!8`K{a*
— 六边形 *.y' (tj[
— 自由选取 . &,[,
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 |pZo2F!.
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5. 系统的3维视图 :s8 A: mx
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[attachment=67682] )&W|QH=AI
6. 其他系统参数 @kngI7=E
■ 系统由单色平面波照明 ^o<:;{
■ 照明波长266.08nm eNySJf
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： DOD6Liau{Q
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 (0*v*kYdL+
— 一个虚拟屏位于焦平面 'zSgCgCHX8
— 光束尺寸探测器置于焦平面 UPCQs",
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 L9IGK<
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7. 光线追迹系统分析器的结果 /rF8@ l
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[attachment=67683] 光线经过整个光学系统的三维视图 GCE!$W
[attachment=67684] 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） % mn />
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Ph7pd
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[attachment=67685] 993d/z|DX
■ VirtualLab可用于计算点列图。 7#4%\f+'t
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 fDuwgY0
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 jOv"<
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色[attachment=67686] qMgfMhQ7DU
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9. 焦平面上的结果 EnscDt f(
[attachment=67687] t! l%/$-
>a]t<
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 8$ DwpJ
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 R`He^
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm /_OOPt =G
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 S[U/qO)m
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 npj/7nZj
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10. 总结 Xu]h$%W
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 +Jw{qQ R/*
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 kME^tpji
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 rbh[j@s@
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 =x4a~=HX
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（来源：讯技光电）
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