VirtualLab运用：利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) 0r1GGEW`s
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关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 qfE0J;e
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1. 描述 i:0 v6d
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 fP|[4 ku
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 )c' 45 bD
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 7N[".V]c
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B{!Q
2. 系统 Rq5'=L
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[attachment=67679] 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd yef\Y3X
3. 透镜系统组件编辑 ~. vridH
[attachment=67680] EXr2d"
■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 ^py=]7[I
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 eb\S pdM6
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 /)Cfm1$ic
■ 包括序列光学表面和光学介质。 [_(J8~ va
.c+U=bV-
4. 光线追迹系统分析器-选项 },l
i'r#p
B=a+cT
[attachment=67681] [StnKQ?"wz
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 oR2?$KF
■ 可以选择选取光线的方法： fOHbgnL>
— 在x-y-网格 W4^z KnH
— 六边形 hFi gY\$m
— 自由选取 @9HRGxJ =}
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 zY_J7,0g
9efey? z
5. 系统的3维视图 jL\j$'KC
Qq`S=:}~x
[attachment=67682] <}{<FXk[
6. 其他系统参数 iv~R4;;)
■ 系统由单色平面波照明 u_^mN9h
■ 照明波长266.08nm ^:{8z;w!(
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： nD
BWm`kN
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 >S7t
— 一个虚拟屏位于焦平面 cj>UxU][eS
— 光束尺寸探测器置于焦平面 m1pA]}Y/5o
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 A[+ )PkR
? K[Y"*y2
7. 光线追迹系统分析器的结果
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mcd{:/^?
[attachment=67683] 光线经过整个光学系统的三维视图 zK5&,/
[attachment=67684] 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） wkx9@?2*
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 &Uam4'B6-
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[attachment=67685] =SLG N`m3
■ VirtualLab可用于计算点列图。 , yltt+ e
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 f
X[xZGV,
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 B <SE|~\2
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色[attachment=67686] e ^O:I
LRu,_2"
9. 焦平面上的结果 > k\pSV[
[attachment=67687] 'r]6 GC8Z$
F}u'A,Hc
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Q&]|W
Xv
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 9Y.(xp &vw
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm !y b06Z\f
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 #]jl{K\f#X
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 ?4R%z([X7
Fa>f'VXx
10. 总结 ) 1AAL0F\B
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 OK80-/8HI
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 x;7l>uR
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 MTtx|L\4
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 O.B9 w+G=
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（来源：讯技光电）
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