VirtualLab运用：利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) -("79v>#
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关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 s )
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1. 描述 )c]GgPH
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ?P {C=Td2z
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ""CJlqU
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 zr8 4%_^
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2. 系统 *=^_K`y
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[attachment=67679] 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd \m5:~,p=
3. 透镜系统组件编辑 aOW bIS[8
[attachment=67680] AWD &K!
■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 >=C)\Yfu)
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 1hi^
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 nHyWb6
■ 包括序列光学表面和光学介质。 z7HC6{g% X
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4. 光线追迹系统分析器-选项 k(%RX _]C
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[attachment=67681] ;u}MG3Y8
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 cX *
■ 可以选择选取光线的方法： PCt&66F
— 在x-y-网格 P,I3E?! j
— 六边形 K C q3S
— 自由选取 iLv"ZqGrw
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 =k3Qy mA
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5. 系统的3维视图 z-krL: A
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[attachment=67682] )TRDM[u
6. 其他系统参数 ?em )om
■ 系统由单色平面波照明 m z9Kwxe
■ 照明波长266.08nm }@ 1LFZx
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： Q6Jb]>g\H
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 "]zq<LmX
— 一个虚拟屏位于焦平面 2R<1 ^
— 光束尺寸探测器置于焦平面 iDHmS6_c
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 _@?]!J[
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7. 光线追迹系统分析器的结果 \Cx3^
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[attachment=67683] 光线经过整个光学系统的三维视图 kIXLB!L2b^
[attachment=67684] 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） -pg7>vO q
8. 透镜系统后虚拟屏的结果
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B: {bmvy
[attachment=67685] 2<u vz<B
■ VirtualLab可用于计算点列图。 F!zZIaB]
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 qDcl;{L
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 hrEKmRmF-
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色[attachment=67686] W%vh7>.
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9. 焦平面上的结果 [0)iY%^
[attachment=67687] #H7(d T
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 v6oZD;;~
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 ^0X86
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Oe2T mvl
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 m#%5 H
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 z %mM#X
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10. 总结 7(gQ6?KsZ
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 "8{u_+_B*
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 ^IQC:2 1
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 E37`g}ZS
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 ;y"E}h
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（来源：讯技光电）
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