VirtualLab运用：利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) 6l|L/Z_6
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关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 6rS
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W}F~vx.
1. 描述 Cpzd k~+H
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 T7YJC,^m
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 )fXxkOd
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 4FneP i~i
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2. 系统 @MQfeM-@
OL=X&Vaf<
[attachment=67679] 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd kFJ]F |^7
3. 透镜系统组件编辑 };2Lrz9<
[attachment=67680] va~:Ivl-)
■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 2SC'Z>A
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 ]Y
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2&
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 Y&VypZ" G>
■ 包括序列光学表面和光学介质。 K[SzE{5=P
d+M ogku2
4. 光线追迹系统分析器-选项 [L7S`Z
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[attachment=67681] Yy!G?>hC
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 7ey| ~ u2
■ 可以选择选取光线的方法： "%
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— 在x-y-网格 qoan<z7
— 六边形 h1)+QLI
— 自由选取 <-d-.
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■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 X"8$,\wX ,
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5. 系统的3维视图 W OYZ
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[attachment=67682] Jx 3a7CpX
6. 其他系统参数 yl <=_Q
■ 系统由单色平面波照明 'o_ RC{k2"
■ 照明波长266.08nm ),<h6$
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： 1_~'?'&^
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 HDo=W qG
— 一个虚拟屏位于焦平面 54JI/!a
— 光束尺寸探测器置于焦平面 Q<osYO{l
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 D -e^b'l
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7. 光线追迹系统分析器的结果 xoSBMf
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[attachment=67683] 光线经过整个光学系统的三维视图 B]D51R\}VE
[attachment=67684] 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
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8. 透镜系统后虚拟屏的结果 "Q23s"
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[attachment=67685] wS2N,X/Y
■ VirtualLab可用于计算点列图。 Qe<c@i"
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 7
dG _E]&
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 5OFb9YX
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色[attachment=67686] Z${@;lgP
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9. 焦平面上的结果 ,"5p= JX`
[attachment=67687] Z} O0DfT ;
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 &kOb#\11u
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 z :$TW{%M
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm J0Y-e39 `
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 nYY' hjZ
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 3TD!3p8
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10. 总结 HQ|{!P\/?U
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 _ `94CC:
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 xeHqC9Ou
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 7w"YCRKh
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 Kib?JRYt
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（来源：讯技光电）
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