VirtualLab运用：利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) evimn V
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关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 O$#`he/jm
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1. 描述 E er rIV
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 mjB%"w!S
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 aQinR"o
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 fS!%qr
6 \b B#a
2. 系统 E >SnH
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[attachment=67679] 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd /0"Y.
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3. 透镜系统组件编辑 #XC\= pZX
[attachment=67680] MK~viSgi
■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 + s1mm c
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 Z4E:Z}~''
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 LA" `8
■ 包括序列光学表面和光学介质。 XQlK }AK
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4. 光线追迹系统分析器-选项 hua{g_
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[attachment=67681] Wl::tgU
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 S
G] e^%i
■ 可以选择选取光线的方法： =$Xdn'
— 在x-y-网格 `4 w0 *;k;
— 六边形 9<\wa/#
— 自由选取 IY,&/MCh
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 "'I I~/9
O1rnF3 Be
5. 系统的3维视图 3x 'BM AA+
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[attachment=67682] l _+s$c
6. 其他系统参数 G aM#a[p
■ 系统由单色平面波照明 (j}"1
■ 照明波长266.08nm )Q 6R6 xW
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： > 8>`-
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 yv4hH4Io
— 一个虚拟屏位于焦平面 >JrQS"[u
— 光束尺寸探测器置于焦平面 OYy %aA}h
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 BE}lzn=sF
,j9 }VnW )
7. 光线追迹系统分析器的结果 S-'iOJ 1]
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[attachment=67683] 光线经过整个光学系统的三维视图 [g_f`ZJ=
[attachment=67684] 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） bWUo(B#*I
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 :m^ eNS6:
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[attachment=67685] vL\wA_z"<H
■ VirtualLab可用于计算点列图。 &7|=8Z[o
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 V A4_>6
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 q;t
T*B W
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色[attachment=67686] f>-OwL($P
ryN/sjQC
9. 焦平面上的结果 Bb8lklQ
[attachment=67687] F}2U8O
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 cz&Qoyh{;
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 r? [PIf
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm |giK]Z
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 w*$nG$
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 7cY_=X-?Y
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10. 总结 ?Z*LTsPr
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 !)_80O1
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 o&fAnpia=
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 K, ?M5n '
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 {$oZR" MP
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（来源：讯技光电）
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