VirtualLab运用：利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) hY8reQp1
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关键词：光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸 $ iz|\m
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1. 描述 Yg1 X
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Hj,A5#|=J
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 5`: Y ye
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Pgea NK5Y
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2. 系统 N] sAji*
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[attachment=67679] 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd Z#\P&\`1z
3. 透镜系统组件编辑 q'8 2qY
[attachment=67680] -3Vx76Y
■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 M =r)I~
■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 ^y%T~dLkp'
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 }vM("v|M
■ 包括序列光学表面和光学介质。 ')3
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IO-Ow!
4. 光线追迹系统分析器-选项 }`~+]9 <
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[attachment=67681] @<&m|qtMsz
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ,nm*q#R,0
■ 可以选择选取光线的方法： ~Jz6O U*z
— 在x-y-网格 "#\ ;H$+
— 六边形 y SDH "|0
— 自由选取 oILZgNe'
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 3:i@II
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5. 系统的3维视图 LSr]S79N1
k\GcHI-
[attachment=67682] mL: s Jf
6. 其他系统参数 [HZv8HU|
■ 系统由单色平面波照明 s!7y
■ 照明波长266.08nm Npy : !
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： G<v&4/\p`M
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 C>*u()q>4h
— 一个虚拟屏位于焦平面 *bA. zm zM
— 光束尺寸探测器置于焦平面 YcpoL@ab
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 r\V
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6j LCU%^
7. 光线追迹系统分析器的结果 g 7 W"
7O-x<P;
[attachment=67683] 光线经过整个光学系统的三维视图 :G%61x&=Zc
[attachment=67684] 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大） .ctw 2x5W
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Hja3a{LH
0.k7oB;f(@
[attachment=67685] kL"2=7m;
■ VirtualLab可用于计算点列图。 |_@>*Vmg
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 'AH0ww_)n
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 @r/n F5
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色[attachment=67686]
]-/VHh
ckE-",G
9. 焦平面上的结果 Dwfu.ZJa
[attachment=67687] b B3powy9
b2&0Hx
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Gu\q%'I
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 ZX./P0
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 338k?nHxv
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 e h?zNu2=
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。 zue~ce73J
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10. 总结 i6Emhji
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 )
ahA[
■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 sN01rtB(UT
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 *mvlb
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■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 x)O!["'"
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（来源：讯技光电）
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