说说自己的经验关于算tooling和算材料折射率

比如sio2 材料  n一般是1.45
然后3个光学厚度的话是 180nm  现在电脑里面模拟下3个光学厚度下的波形，然后镀180nm厚度的sio2  这个是电脑输入的值
然后测试结果
sio2 测试反射比较明显，测试出来的曲线可以用来做2件事
1.通过测试波形用其他软件可计算你现在镀膜环境下的n值，如果偏差不大可忽略啊然后只有3个点的n值  算过好多机器和环境下的sio2的折射率感觉都差不多影响不大。
2.用模拟结果的特征峰跟  测试结果的特征峰  相除可得到tooling值，这个也是粗略的值但是用下来还是比较方便简单的
可多次重复得到一个比较可靠的值
其实镀膜上有好多参数可做tooling值镀膜时间镀膜面积等，本人还是喜欢测试波形与模拟的波形的比值来表示。

当然也可用tfc macleod来计算折射率，都是比较简单的，但是算法不一样，计算结果还是有点偏差的，macleod的会比较好点，会自动修正测试结果。

rexchou	2016-04-19 17:38
我提供我自己算tooling值與N值計算。 8Bt- f$W}d0(F; 若有勘誤地方，請不吝嗇指導。 5'-9?-S" Iy4MMU N值我是利用實際光譜值(T/R值)套入macled 利用1/4 & 1/2 點的位置去標示，求出NK值。 ;,})VoC\! l(#Y8 tooling也是利用實際光譜值與設計值(光譜波形)相除。 ?~Ed n-"Y

yzhuang	2016-05-06 09:56
莱宝的软件算折射率最方便

囊中蓄乾坤	2016-05-15 13:59
2楼的貌似很直观，谢谢楼主分享

jakzhou	2016-06-02 10:33
N值我是利用實際光譜值(T/R值)套入macled 利用1/4 & 1/2 點的位置去標示，求出NK值。 2b,TkG8K X$&Sw3c tooling也是利用實際光譜值與設計值(光譜波形)相除。

古书生	2017-03-30 10:41
tool 值你要考虑设计波长！

winstonwang	2017-05-09 14:25
谢谢分享

qs2784	2017-08-31 03:09
yzhuang:莱宝的软件算折射率最方便 (2016-05-06 09:56) ~(]DNXB8I` qM !q,Q 求分享莱宝软件

sunshuang	2020-11-25 11:03
yzhuang:莱宝的软件算折射率最方便 (2016-05-06 09:56) ;gV8f{X{Z L1i> %5:g 你好，我有莱宝软件英文版，但不知道具体的方法和步骤，可否分享一下操作方法和步骤，有教程不胜感激，谢谢🙏928408943@qq.com

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