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hyping518	2015-12-26 08:27
关于ar膜温飘镀膜完成后放置两天。出现温飘较为严重的现象。除了设计时移薄还有什么方法解决

yzhuang	2016-01-03 19:41
加离子源，镀膜基底温度升高

luffy17520	2016-01-04 14:12
以前基本也遇到过 =jN.1} 然后把要求的余量做大就好了，基本是要求基础上的+/-30nm左右即可，不关均匀性或者温飘情况下都能保证满足要求啊 ~12EQacOT 控制好镀膜环境 <_L,t 1H{

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