刚换完围板，设备抽真空慢

现在发生现象如下：
刚换的围板，初抽正常，精抽到6E-3要四十多分钟。正常应该20分钟多点。关闭所有阀门，从6E-3升到1E-1只用4分钟。这时再开高阀抽到6E-3只要3分钟。刚换的围板，围板有喷砂-水洗-晾干-酒精擦后上炉。
升温130度烤了30分钟之后精抽到6E-3还要三十多分钟。
请问各位大侠这会是什么地方出问题？围板处理方法不当吗？

348068034	2015-10-14 10:56
已解决

991518	2015-10-14 11:07
348068034:已解决 (2015-10-14 10:56) ?'%&2M zM $t]DxMd 想知道如何解决的？谢谢。

348068034	2015-10-28 14:19
991518:想知道如何解决的？谢谢。 (2015-10-14 11:07) O&)Y3O1 6V8"[0U 很土的办法，我把围板都拆了，发现抽真空还是慢。所以排除围板的问题。最后发现是水管可能有轻微的漏水，导致真空抽不下去。

波哥	2015-11-07 11:54
小问题伤大脑神经

yangyangyang	2016-05-05 23:14
你那是属于微漏真空

jakzhou	2016-06-02 10:57
不错看看 ,漏气 2@ad!h

知识乞丐	2016-09-17 21:15
不错啊多谢楼主分享