一种新的离轴倾斜照明系统

为了满足超大规模集成电路的发展需要, 投影光刻技术得到了飞速发展, 投影光刻机分辨力的提高始终成为微光刻技术的核心问题。i 线和深紫外( 2 4 8n m ) 光学光刻与x 射线光刻相比就实现技术难点和实现成本而言, 已成为亚半微米微细图形制造工艺技术中的首选设备。然而靠增大数值孔径和缩短曝光波长提高实际分辨力是有限的, 这主要是由于焦深会随数值孔径的增大和波长的缩短而迅速减小, 在现有的半导体制作工艺水平下难以实现。为此, 寻求既不影响焦深又能提高分辨力的新方法已成为近年来人们研究的热点, 出现了诸如离轴照明, 移相掩模, 光瞳滤波, 表面成像和多焦面曝光等新技术。

dahai	2015-06-29 22:59
好东西，谢谢楼主分享

hzdp	2015-06-30 15:58
学习学习

zcp12121212	2015-07-01 13:39
看一下~~~~

jccqqqqq	2015-07-01 13:48
看看怎么回事 Y<L35 ?

jiuxs	2015-07-01 20:55
好东西，谢谢楼主分享

optic37world	2015-07-01 22:00
很好，学习中。。。。。。。

moth	2015-07-01 22:22
..........

mang2004	2015-07-01 22:39
thanks for share.

zpx1007	2015-07-03 16:45
高大上的东西

quan416	2015-07-06 12:54
这要看看

piggyhud	2015-07-08 08:29
看看.....

seemile01	2015-07-08 12:54
看看.....

szuwcy	2015-07-08 15:01
真的这么神奇

optnicky	2015-07-08 16:48
欣赏下

1476010154	2015-07-09 19:55
来学习学习

萍水相逢	2015-07-10 20:54
好东西

yuanxiaowen	2015-07-11 16:36
学习学习 fbNzRXw

kimclps	2015-07-13 23:05
多謝分享

anansiyu	2015-07-31 16:25
学习一下。。。

意遵守本	2015-08-04 22:22
研究的热点

bairuizheng	2015-08-05 01:59
谢谢楼主分享

hbliu120	2015-08-31 17:10
为了满足超大规模集成电路的发展需要,

as905360505	2015-08-31 17:17
学习.学习

zzust	2015-08-31 17:35
多谢分享。

jiangym	2015-09-23 16:51
好东西，谢谢楼主分享

wellsunx	2015-11-03 14:19
thanks for share

拥抱未来	2016-01-19 10:43
看看，正在学习中

hs507xxx	2016-02-27 19:10
看一下先 rUiYR]mV

zhulei199002	2016-09-24 13:41
thanks for share.

无聊者无敌	2017-01-15 09:44
看看啊啊啊啊

fengxiaoguo1	2017-01-15 12:03
学习一下

maiwudi	2017-02-16 19:08
謝謝分享，了解一下

ra1nnn928	2018-12-06 14:50
谢谢分享

远山和叶	2019-01-03 20:39
想学习一下

qinwq7	2019-01-04 17:03
zhchiyixia

icecool258	2019-01-28 14:31
谢谢楼主分享

禅花游鱼	2019-12-25 10:54
好东西，谢谢楼主分享

wmh1985	2020-01-03 10:31
多谢楼主分享

sis马	2020-04-06 00:15
111111111111111111111111111111

夜华	2020-07-29 09:06
感谢分享

凉开水	2020-08-14 16:19
看看怎么回事

seagullze	2020-09-03 10:53
谢谢分享，学习学习

willow	2020-09-08 09:15
康康康康康康康

silence唯爱	2020-09-09 11:57
这个是文献？

眼浊	2020-11-28 16:05
看看，最近做个离轴照明

1484520617	2020-12-01 20:57
谢谢分享

seedvsgod2	2021-09-25 05:10
现在看看

zhouxin1991	2021-09-29 11:08
好东西，谢谢 }F`\|_8L*v)

mmgg998	2021-09-30 13:42
看一下

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