膜系设计问题求助

请问各位光学镀膜行业的师傅，如图所示的膜系，从A到B的透射曲线该怎么仿真？假设环氧树脂的折射率和玻璃相同。

[attachment=63854]

还有就是那家镀膜企业对这种膜做的比较熟练（不包括上面的环氧树脂。下面自带10um二氧化硅的硅片是由我们提供的）？我们有大批订单等着做，价格好商量，欢迎联系 QQ53225377

greensoya	2015-06-19 10:53
帮助解决上述问题者，愿提供500光币聊表谢意，光币不多，一点小意思。 jKSj); I#l}5e5

fly6947	2015-06-19 11:05
应该是在500-600之间投射峰值，红外紫外都截止

greensoya	2015-06-19 11:19
fly6947:应该是在500-600之间投射峰值，红外紫外都截止 (2015-06-19 11:05) m:_#kfC&K" MmJMx 请问能详细说说仿真方法吗？顺便把仿真结果发上来可以吗？类似这种膜哪个公司可以帮忙加工，您知道吗？

崔粤鹏	2015-06-19 11:20
你好，使用薄膜软件仿真就可以：推荐Essential Macleod

greensoya	2015-06-19 11:23
[attachment=63856][attachment=63857]

greensoya	2015-06-19 11:24
我仿真出来是上面这个样子，感觉不对，不知道哪里设置错了

greensoya	2015-06-19 11:26
崔粤鹏:你好，使用薄膜软件仿真就可以：推荐Essential Macleod (2015-06-19 11:20) $$AZ)#t[ ^%oH LsY9 谢谢 33`bKKO} 我用的就是macleod，但是仿真出来很多纹波，不知道是不是错了

fly6947

2015-07-30 07:49

greensoya:我仿真出来是上面这个样子，感觉不对，不知道哪里设置错了 (2015-06-19 11:24) +@$VJM%^7b

你这样模拟其实也差不多，这个是金属-介质诱导滤光片，但是你的sio2非常厚，可能超过一般性规则的相干厚度（没细算，估计也差不多了），所以模拟出来曲线很粗，其实是震荡频率太高；如果只研究该膜系的透射，可以把这个膜系看成是为sio2基底，SI3N4与Ag交替的膜系；
另外有个疑问，根据你的厚度，这个膜系应该是在500-600之间透射，其余截止；但是最底下的SI在1100nm以下都不透光，这样设计有何特殊意义吗？望交流

greensoya

2015-07-30 15:48

fly6947: C&q}&=3r
你这样模拟其实也差不多，这个是金属-介质诱导滤光片，但是你的sio2非常厚，可能超过一般性规则的相干厚度（没细算，估计也差不多了），所以模拟出来曲线很粗，其实是震荡频率太高；如果只研究该膜系的透射，可以把这个膜系看成是为sio2基底，SI3N4与Ag交替的膜系； 0$XrtnM
另外有个疑问，根据你的厚度，这个膜系应该是在500-600之间透射，其余截止；但是最底下的SI在1100nm以下都不透光，这样设计有何特殊意义吗？望交流 B'Nvl#

[attachment=64584]
谢谢fly6947的详细指导！
刚发现前面那幅图仿真时的二氧化硅厚度填错了，实际的物理厚度是10000nm，错误的填到了光学厚度里面。修改之后的仿真结果如图所示，紧贴si表面的10um二氧化硅使透光曲线上出现了很多纹波（黑色曲线），而如果把这10um二氧化硅去掉，则曲线会比较平滑（红色曲线）。不知道如何设计才能将这些纹波去除掉？
是的，这个膜系是在500-600之间透射，是把进入硅片的光当做透射光，而不是指透过硅片的光。我们在硅片表面用硅材料做了光探测器，可以把进入硅片的光转换成电流。 QQ： 53225377

fly6947

2015-07-31 15:05

greensoya:[图片] wS2N,X/Y
谢谢fly6947的详细指导！ a 8jG')zg
刚发现前面那幅图仿真时的二氧化硅厚度填错了，实际的物理厚度是10000nm，错误的填到了光学厚度里面。修改之后的仿真结果如图所示，紧贴si表面的10um二氧化硅使透光曲线上出现了很多纹波（黑色曲线），而如果把这10um二氧化硅去掉， .. (2015-07-30 15:48) bF@iO316H

原来如此；
由于环氧树脂和Sio2都比较厚，可以不考虑其干涉效应，模拟时先计算出100%透过率的光通过环氧树脂的透过率为多少，如T1；；
膜层设置 Substrate为Sio2 膜层从下到上分别为 Si3N4 Ag Si3N4 Ag Si3N4 Ag Si3N4
medium 设置为Air

不过此时软件模拟出来的透过率T2需要乘以T1才是实际透过率

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