| ofweek001 |
2015-05-15 16:15 |
牛津仪器:技术创新提高LED经营成本!
&UtsI@Mu 研讨会主题:使用创新等离子加工技术蚀刻图形蓝宝石衬底(PSS) T/Q#V)Tp 举办时间:2015年6月4日 下午15:00-16:00 $Il?[4FF 举行公司:牛津仪器 4%/iu)nx 登记链接:http://t.cn/RABTvu9 B.nq3;Y 研讨会简介: q1QrtJFPG LED行业对提高经营成本的积极性推动了牛津仪器的离子技术创新。经过优化的离子体工序为提高器件产量和降低制造成本提供许多途径,达到一石二鸟的效果。LED制造商需要关键的离子体蚀刻步骤(图案化蓝宝石衬底(PSS)和GaN刻蚀)和沉积步骤进行钝化,电流阻挡以及掩模制作。这些都是通过各种技术,例如等离子体增强化学沉积(PECVD)来进行。本次研讨会阐述了通过提高加工率以及同时增加处理晶片的数量的方法,以提高这些工序的生产效率。 FZTBvdUYp 研讨会议程: dx{ZG'@aH 1. 5分钟介绍 - OFweek主持人; 9$F '*{8 2. 演讲1: 20分钟 – Dr Mark Dineen《使用创新量子加工技术蚀刻图形蓝宝石衬底(PSS)》(英文版本); U JO 3. 演讲2:20分钟 – Dr Young Huang《使用创新量子加工技术蚀刻图形蓝宝石衬底(PSS)》(中文版本); 6j9P`#Lt 4. 问答环节 - 20分钟。 Ht.0ug 主讲人/答疑人介绍 8w & | |