在PMMA基底上冷镀膜出现裂膜，膜层不牢固

在PMMA基底上镀AR膜系，905nm增透。
基片经超声波中性洗剂清洗后，放在恒温箱中75℃，退火2h；在光驰机器中不加热，开离子源，真空抽至2E-3开始镀（Ta2O5/石英环）。
出锅后，基片上的膜层就出现明显裂痕。
基片翻面放进机器，降低镀石英环的离子轰击能量，并在出锅后，直接放入恒温箱中75℃退火2h。结果是基片没有裂痕，但膜层一擦就掉。
请教下各位，应该怎样有效的降低PMMA的内应力，工艺上有哪些不当的地方希望可以不吝言辞予以指正，谢谢！

mang2004	2015-04-22 04:56
供参考：觉得基底要加热，~50C.

coa520	2015-04-28 11:34
这个没什么复杂的 @2;cv?i)

马上登录哦哦	2015-04-29 08:46
做个记号~

ajijipi	2015-04-29 13:04
学习一下

dumoty	2015-05-01 09:44
coa520:这个没什么复杂的 \+=`o .2 (2015-04-28 11:34) q;UGiB^(A R_\o`v5 求指教

即兴以来	2015-07-23 23:59
我最近也在做这个，求大神指教

luozhenbob	2015-07-24 07:48
求教，学习

luozhenbob	2015-07-24 08:39
楼主，最终是什么问题，解决了吗？

即兴以来	2015-08-02 23:24
目前还没解决求大神指点 gS8+S\2 谢谢！ %M))Ak4~a

即兴以来	2015-08-02 23:25
coa520:这个没什么复杂的 P/.<sr=2 (2015-04-28 11:34) %y\|pVN!U _U-`/r o 求大神指点 NkO+)= 非常感谢！

即兴以来	2015-08-02 23:25
luozhenbob:楼主，最终是什么问题，解决了吗？ (2015-07-24 08:39) pu]U_Ll@ G<D8a2q 目前还没解决 D 5n\h5 求大神指点！ W"\}## 谢谢 \|oLGc!i

即兴以来	2015-08-03 11:03
马上登录哦哦:做个记号~ (2015-04-29 08:46) t3Gy *B [mu8V+8@d4 请问什么意思？能否细说一下 JCnHEH 谢谢！

西北风	2015-09-18 10:50
解决了吗？如没有，可以联系我QQ2860598589

波哥	2015-11-07 16:13
用钨舟。

725514453	2015-11-12 07:19
学习学习

谭健	2015-11-12 07:49
这个没什么复杂的

suninrain	2015-11-14 00:01
离子源调好即可 [;,E cw^ wi7Br&bGi 内容来自[手机版]

xiaochen703	2015-11-16 14:05
请问楼主基底经过加硬处理吗

囊中蓄乾坤	2018-05-15 12:13
有没有解决办法，现在也遇到这个问题了。60恒温2小时，镀膜出来还是掉膜严重。

光迹	2018-05-19 11:55
工艺条件再说详细一点，第一层是什么膜料，蒸镀过程是否离子源一直辅助，脱膜现象是否有伞架位置之分等等

liuniansheng	2018-06-10 23:13
大家一起研究一下

囊中蓄乾坤	2018-06-11 07:05
基片加硬的问题，刚刚遇到过的，亚克力的镀完膜层不牢，后来，退客户端他们加硬后就OK了。至于怎么加硬就不太清楚了。

harryzeng

2018-06-12 11:02

PMMA本身镀增透就有点自相矛盾的，基板与膜料结合不好，要增加结合效果就要表面增加粗糙度，增加粗糙度就会对产品透过有影响。之前有想买台湾的一种设备来增加表面粗糙度，后面也是不了了之。PMMA在镀膜这块确实不好解决，膜裂可以搞，但是脱膜不好搞，脱膜搞好，增透就不好搞，而且镀膜后产品储存要求较为苛刻。要想解决脱膜就表面雾化，雾化程度自行实验吧——雾化程度不影响预期增透效果。希望楼主解决后分享一下

囊中蓄乾坤	2018-06-13 23:58
基片加硬才行，刚试过了，总是脱膜，加硬后没有问题

dumoty	2018-08-09 11:11
SiO打底200nm，石英环/Ti3O5，4层，离子辅助沉积 iu=Mq\|t0 冷镀不加温，抽一个半小时 b}Gm{;s! 基片超声波清洗，洗后75°退火2小时 h SS9mQ 镀完再退火2小时

rexchou	2018-08-11 00:19
dumoty:SiO打底200nm，石英环/Ti3O5，4层，离子辅助沉积 vqT)=ZC1 冷镀不加温，抽一个半小时 ^^ix4[1$Z 基片超声波清洗，洗后75°退火2小时 uaP5(hUI 镀完再退火2小时 (2018-08-09 11:11) $bMmyDw 8~,zv_Pl 好繁瑣的過程

knight627	2018-08-11 14:06
换种新膜料,一步搞定膜裂!当然还得退火处理!几种塑料PC PMMA 还有E48R 退火条件有区别!

bbbaaa	2018-08-17 23:19
謝謝分享

xtzxwwb	2018-09-06 13:57
看看是什么原因

chenliang1990	2018-09-06 18:14
怎么解决呢？

zqfid536	2018-09-16 22:20
工艺很重要

小小牛—光电	2018-10-11 15:58
才看到楼主的帖子，（虽然楼主这个帖子时间很久了） w]xr ~D+ 楼主，我最近接触这个材料的镀膜，也是PMMA（700nm增透），镀膜的话容易膜裂（主要是高温会导致膜裂>80C°） F#9^RA)9 是不是可以降低恒温箱的退火温度来试试

knight627

2018-10-12 14:34

小小牛—光电:才看到楼主的帖子，（虽然楼主这个帖子时间很久了） x3 ( _fS
楼主，我最近接触这个材料的镀膜，也是PMMA（700nm增透），镀膜的话容易膜裂（主要是高温会导致膜裂>80C°） ^(T~Qp
是不是可以降低恒温箱的退火温度来试试 (2018-10-11 15:58) :>ca).cjac

第一层加50-100A SIO打底,或者直接换膜料,都可以解决膜裂问题

光迹	2019-11-26 19:39
在你现有的工艺基础上，打底一层薄的SIO

op1163	2019-11-27 22:16
提高一下，加工工艺条件。

dumoty	2019-12-05 16:41
问题已解决，方案在25楼

morningtech	2019-12-08 12:07
楼主做事有始有终，必须赞一个。

嘤击长空	2020-06-20 10:27
正在做冷度ar，离子源辅助（O2），镀sio2的时候不开离子源比开离子源膜强度要高，但依旧达不到要求，膜层易脱落，用指甲就螚把膜层刮下来，暂未解决

sosjinyan	2020-06-29 18:02
knight627:第一层加50-100A SIO打底,或者直接换膜料,都可以解决膜裂问题 (2018-10-12 14:34) w~=xO_% mxpw4 SIO 这个试过几次镀10nm，效果没有改善。可能是SIO 这个料不太好用，光斑用的60 60，电流100mA 没有融料痕迹。这个料需求预融吗？具体怎么使用？多谢赐教！

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