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2015-04-15 17:23 |
软X射线掠入射成像光学系统设计
本文分析和研究了掠入射成像光学系统工程应用时，环形入瞳的衍射、光学表面的散射、装配公差和环境因素对成像质量的影响。编写了掠入射成像光学系统像质分析软件，该软件能够用来分析计算包含几何像差、孔径衍射、表面散射、公差及环境影响作用下的掠入射成像光学系统的成像质量。软件的计算结果能够用于指导掠入射成像光学系统进一步的优化和制造，并对其工程应用的可行性进行评估。最后，使用该软件详细分析了本文中设计的掠入射光学系统 的成像质量，根据分析计算的结果制定了系统研制过程中的“误差分配图”和加工装调公差。 k,yZ[n|`
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设计了用于掠入射成像光学系统筒状非球面面形测量的共路扫描长程轮廓仪（CSLTP）的光学结构。该 CSLTP 中偏振分光棱镜置于光学扫描头的设计以及光束调制器的使用，降低了测量中误差的影响，提高了测量精度。分析和研究了 CSLTP 中影响测量结果的主要误差源。针对影响较大的两种系统误差，提出了采用反转方法校正转台自身转动误差，采用滤波算法校正系统倾斜偏心误差的方法。
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